[发明专利]一种晶元切割机用气浮平台

权利要求书

1.一种晶元切割机用气浮平台，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)的上部基面上设置有对称的双驱轴线性导轨(2)，所述双驱轴线性导轨(2)的一侧设置有双驱轴定子(3)，所述双驱轴定子(3)上连接有双驱轴动子(4)，所述双驱轴线性导轨(2)上架设有气浮轴横梁(5)，所述气浮轴横梁(5)上设置有气浮块，所述气浮块包括设置在气浮轴横梁(5)下部的底部气浮块(6)和设置在底部气浮块(6)上且在气浮轴横梁(5)两侧的侧边气浮块(7)，所述气浮轴横梁(5)的上方且在侧边气浮块(7)的上部设置有转台安装台，所述转台安装台上设置有DD转台(11)，所述转台安装台的下部且在两侧的侧边气浮块(7)内设置有气浮轴定子(8)和气浮轴动子(9)。

2.如权利要求1所述的晶元切割机用气浮平台，其特征在于：所述底座(1)为大理石材质，所述双驱轴线性导轨(2)固定连接在底座(1)的上基面。

3.如权利要求1所述的晶元切割机用气浮平台，其特征在于：所述双驱轴线性导轨(2)在底座(1)上对称设置有两组，所述双驱轴线性导轨(2)的内部设置有直线电机，所述双驱轴线性导轨(2)有两组且与其内的直线电机形成龙门双驱。

4.如权利要求1所述的晶元切割机用气浮平台，其特征在于：所述气浮轴横梁(5)固定在双驱轴线性导轨(2)上，所述双驱轴动子(4)固定在气浮轴横梁(5)上，所述双驱轴线性导轨(2)内的直线电机驱动气浮轴横梁(5)往复运动，所述底部气浮块(6)的下部设置有多个用于吹气的气孔，对应所述底部气浮块(6)在底座(1)上设置有与之相适应的均压槽。

5.如权利要求4所述的晶元切割机用气浮平台，其特征在于：所述底部气浮块(6)、侧边气浮块(7)和转台安装座(10)组成封闭四边形结构且套在气浮轴横梁(5)中，并与横梁保持一定间隙，气浮轴横梁(5)被多组气浮块支撑，直线电机的输出轴与气浮轴横梁(5)连接。

6.如权利要求1所述的晶元切割机用气浮平台，其特征在于：所述侧边气浮块(7)的侧壁上设置有多个气孔，所述侧边气浮块(7)上下两端分别与转台安装台和DD转台(11)连接。

7.如权利要求1所述的晶元切割机用气浮平台，其特征在于：所述转台安装板上设置有与DD转台(11)相适应的安装座，所述DD转台(11)安连接在安装座内，所述DD转台(11)内设置有DD马达。

8.如权利要求1所述的晶元切割机用气浮平台，其特征在于：所述转台安装板与气浮块连接，通过设置在气浮块内的气浮轴定子(8)进行驱动。