[发明专利]TC4材料表面镀制类金刚石保护层的方法、TC4材料及其应用在审

专利信息
申请号: 202111029715.6 申请日: 2021-09-03
公开(公告)号: CN113718252A 公开(公告)日: 2021-11-30
发明(设计)人: 龙丹;林勇刚;王立利 申请(专利权)人: 科汇纳米技术(深圳)有限公司
主分类号: C23C28/00 分类号: C23C28/00;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/32;C23C16/26;B64G1/16
代理公司: 北京维正专利代理有限公司 11508 代理人: 黄勇;任志龙
地址: 518101 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: tc4 材料 表面 镀制类 金刚石 保护层 方法 及其 应用
【说明书】:

本申请具体公开了一种TC4材料表面镀制类金刚石保护层的方法、TC4材料及其应用。TC4材料表面镀制类金刚石保护层的方法,包括:通过阴极电弧离子镀在TC4材料表面依次镀制Ti层、TiN层以及TiCN层;通过化学气相沉积在TiCN层上镀制类金刚石层。TC4材料,其表面采用上述TC4材料表面镀制类金刚石保护层的方法镀制有类金刚石保护层。月球车机械臂,其材质为上述TC4材料。本申请通过在TC4材料上镀制类金刚石保护层,使TC4材料具有良好的耐磨性、润滑性、耐腐蚀性和耐高温性。本申请镀制的具有Ti‑TiN‑TiCN三层结构的过渡层,能更有效地提升TC4材料和类金刚石层之间的结合性,从而有助于类金刚石层更好的发挥作用,进而提升了镀制有类金刚石保护层的TC4材料的性能。

技术领域

本申请涉及类金刚石层的领域,更具体地说,它涉及一种TC4材料表面镀制类金刚石保护层的方法、TC4材料及其应用。

背景技术

TC4材料(即Ti-6Al-4V钛合金)是一种双相合金,具有良好的组织稳定性、韧性及塑性,能较好地被热压加工,能通过淬火和时效而被强化。同时该材料具有较小的高温变形性和较高的高温强度,可在400-500℃的温度下长期工作;TC4材料的热稳定性仅次于与α钛合金。

由于TC4材料具有上述良好的性能,故可应用于航空、生物医疗、石油化工以及汽车零部件等领域。同样,TC4材料也可以应用于航天领域;然而由于航天器需要经历各种苛刻的环境,要求TC4材料能具有更好的耐磨性、润滑性、耐高温性以及耐腐蚀性;而实践中,纯TC4材料的表现往往不理想。如“嫦娥五号”月球车的机械臂,如单纯采用TC4材料作为材质,机械臂的工作性无法达到最理想的状态。

在相关技术中,通过在TC4材料表面镀制光滑细腻的类金刚石(DLC)层,来提高材料的润滑性、耐磨性以及耐温耐腐蚀性。由于类金刚石层和TC4材料成分和性质相差较大,会出现结合性不佳的问题,从而限制了类金刚石层作用的发挥;故相关技术中,还会在类金刚石层和TC4材料之间镀制单层的TiN层或TiC层作为过渡层以减小界面间化学、物理性质的突变,提高类金刚石层和TC4材料之间的结合性,从而更好地发挥类金刚石层的作用。然而,随着对航天材料性能要求的不断提高,要求镀制了类金刚石层的TC4材料具有更理想的性能,从而对金刚石层和TC4材料之间的结合性也提出了更高的要求。

发明内容

为了提高类金刚石层和TC4材料之间的结合性,从而更好地发挥类金刚石层的作用,使TC4材料具有理想的耐磨性、润滑性、耐高温性以及耐腐蚀性,本申请提供一种TC4材料表面镀制类金刚石保护层的方法、TC4材料及其应用。

第一方面,提供了一种TC4材料表面镀制类金刚石保护层的方法,采用如下的技术方案:

TC4材料表面镀制类金刚石保护层的方法,包括:

通过阴极电弧离子镀在TC4材料表面依次镀制Ti层、TiN层以及TiCN层;

通过化学气相沉积在所述TiCN层上镀制类金刚石层。

通过采用上述技术方案,在TC4材料和类金刚石层之间镀制了Ti-TiN-TiCN三层结构的过渡层。在三层中,相比于TiN层、TiCN层以及类金刚石层,Ti层的成分性能与TC4材料更加接近,故两者间的连接性更好;类似的,相比于TC4材料、Ti层以及TiN层,TiCN层的性能更加接近于类金刚石层,故两者间的连接性更好;TiN层处于Ti层和TiCN层中间,在成分性能上能够起到一个过渡的作用。因此,Ti-TiN-TiCN的三层结构可以形成一个合理的梯度结构,相比于单层结构的过渡层,可以更加有效地减少TC4材料和类金刚石保护层之间各界面间物理、化学性能的突变,这样可以降低类金刚石层和TC4材料之间的应力,从而有利于类金刚石层和TC4材料之间结合性的提高,能更好地发挥类金刚石层的作用,进而有利于提升镀制了类金刚石层的TC4材料的耐磨性、润滑性、耐高温性以及耐腐蚀性。

可选的,在所述TC4材料表面依次镀制Ti层、TiN层以及TiCN层的方法为:

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