[发明专利]硬质合金材料表面金刚石层的制备方法、硬质合金材料及其应用在审
| 申请号： | 202111029731.5 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN113718226A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 龙丹;林勇刚;王立利 | 申请（专利权）人： | 科汇纳米技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/02 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 黄勇;任志龙 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硬质 合金材料 表面 金刚石 制备 方法 硬质合金 材料 及其 应用 | ||
1.硬质合金材料表面金刚石层的制备方法，其特征在于：将硬质合金材料置于工作腔中，对工作腔抽真空；之后同时向工作腔中通入氢气、甲烷以及四甲基硅烷，并加热工作腔至550℃以上，进行化学气相沉积；所述甲烷和四甲基硅烷的体积比为10：(0.1-5)。
2.根据权利要求1所述的硬质合金材料表面金刚石层的制备方法，其特征在于：所述工作腔内气压至3-10Pa后，进行7-24h的化学气相沉积。
3.根据权利要求2所述的硬质合金材料表面金刚石层的制备方法，其特征在于：所述甲烷和氢气的体积比为10：(250-1000)。
4.根据权利要求3所述的硬质合金材料表面金刚石层的制备方法，其特征在于：所述甲烷的流量为2-8sccm。
5.根据权利要求2所述的硬质合金材料表面金刚石层的制备方法，其特征在于：加热所述工作腔至900-1100℃。
6.根据权利要求5所述的硬质合金材料表面金刚石层的制备方法，其特征在于：升温速度为5-15℃/min。
7.根据权利要求1-6任一所述的硬质合金材料表面金刚石层的制备方法，其特征在于：所述硬质合金材料在置于工作腔之前还进行了清洗处理。
8.根据权利要求7所述的硬质合金材料表面金刚石层的制备方法，其特征在于：所述清洗处理包括丙酮清洗和乙醇清洗。
9.硬质合金材料，其特征在于：其表面沉积有金刚石层，所述金刚石层采用权利要求1-8任一所述的硬质合金材料表面金刚石层的制备方法制得。
10.刀具，其特征在于：其材质为权利要求9所述的硬质合金材料。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
