[发明专利]发热芯片的制备方法和发热芯片在审
申请号: | 202111031307.4 | 申请日: | 2021-09-03 |
公开(公告)号: | CN114040525A | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 李永武;杨敏 | 申请(专利权)人: | 光之科技(北京)有限公司 |
主分类号: | H05B3/14 | 分类号: | H05B3/14;H05B3/20;B32B33/00 |
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地址: | 100086 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发热 芯片 制备 方法 | ||
1.一种发热芯片的制备方法,其特征在于,所述方法包括:
选取一基材,并在基材表面涂布预涂层,并将预涂层进行第一次固化;
在预涂层上涂布硬化材料,以形成硬化层,并将硬化层进行第二次固化;
在硬化层表面真空溅射制热材料,以形成电热转换层;
将基材和电热转换层封装,形成发热芯片。
2.如权利要求1所述的发热芯片的制备方法,其特征在于,所述预涂层包括聚氨酯和/或聚酯;所述预涂层的厚度范围包括20nm~50μm,且所述预涂层表面的算术平均粗糙度为0.1μm~1μm。
3.如权利要求2所述的发热芯片的制备方法,其特征在于,所述硬化层包括丙烯酸系树脂、环氧系树脂、聚酯系树脂以及聚氨酯系树脂中的一种或多种;所述硬化层的厚度范围包括20nm~50μm。
4.如权利要求3所述的发热芯片的制备方法,其特征在于,所述第一次固化和所述第二次固化包括光固化工艺和/或热固化工艺。
5.如权利要求1所述的发热芯片的制备方法,其特征在于,所述制热材料包括金属氧化物半导体;或者,所述制热材料包括锑掺杂氧化锡、氟掺杂氧化锡、锡酸镉、锡掺杂氧化铟、氧化镉、铝掺杂氧化锌、镁掺杂氧化锌、氟掺杂氧化锌、硫掺杂氧化锌、碳化硅、氧化亚镍、氧化亚铜、一氧化锡中的一种或多种;其中,所述电热转换层的厚度范围包括10nm~1000nm。
6.如权利要求5所述的发热芯片的制备方法,其特征在于,所述将基材和电热转换层封装的步骤包括:
在电热转换层上设置保护层,将基材、电热转换层和保护层进行热压成膜,所述热压成膜的温度包括60~300℃。
7.如权利要求1-6任一项权利要求所述的发热芯片的制备方法,其特征在于,所述将基材和电热转换层封装的步骤之前还包括:
在硬化层上真空镀膜形成一层绝缘层;其中,所述绝缘层的厚度范围包括10~1000nm。
8.一种发热芯片,其特征在于,包括:
基材;
预涂层,所述预涂层覆盖在所述基材表面,且所述预涂层进行过固化处理;
硬化层,所述硬化层覆盖在所述预涂层上,且所述硬化层进行过固化处理;
电热转换层,所述电热转换层覆盖在所述硬化层上,所述电热转换层包括溅射在所述硬化层上的制热材料。
9.如权利要求8所述的发热芯片,其特征在于,所述预涂层包括聚氨酯和/或聚酯;所述预涂层的厚度范围包括20nm~50μm;且所述预涂层表面的算术平均粗糙度为0.1μm~1μm
所述硬化层包括丙烯酸系树脂、环氧系树脂、聚酯系树脂以及聚氨酯系树脂中的一种或多种;所述硬化层的厚度范围包括20nm~50μm。
10.如权利要求8或9所述的发热芯片,其特征在于,还包括:
保护层,所述保护层设置在所述电热转化层上;
绝缘层,所述绝缘层设置在所述硬化层和所述电热转换层之间;其中,所述绝缘层的厚度范围包括10~1000nm。
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