[发明专利]利用平移旋转绝对检测法测包含离焦像差的平面镜面型的方法

权利要求书

1.一种利用平移旋转绝对检测法测包含离焦像差的平面镜面型的方法，其特征在于，包括：

步骤一：在被测镜初始位置，测量得到被测镜通光口径内沿X方向和Y方向的倾斜系数Z1,Z2；

步骤二：在所述初始位置，测量得到被测镜有效口径内的面型数据W₀；

步骤三：参考镜不动，被测镜进行平移或旋转，在每个平移旋转位置，测量得到通光口径内被测镜的倾斜系数Z1’,Z2’，并实时调整被测镜的倾斜角，直到Z1’＝Z1,Z2’＝Z2；

步骤四：检测得到所述每个平移旋转位置处有效口径内的面型数据W_i，此处i＝1～7；

步骤五：在包含初始位置和上述平移旋转位置的八个位置处，调整被测镜的倾斜角，将有效口径内的倾斜全部调零后，再测一组面型数据W_i’，此处i＝0～7；

步骤六：数据W_i减去W_i’，再对该差值通过zernike分解后，进行去倾斜处理，得到W_i”，此即为倾斜引入的被测镜回程误差，此处i＝0～7；

步骤七：将有效口径内的面型数据减去回程误差，得到W_Ri＝W_i-W_i”，此处i＝0～7，此时的W_Ri既没有外界因素造成的无用倾斜，又保留了由离焦像差引起的有用倾斜，同时还去掉了由倾斜带来的回程误差；

步骤八：将W_Ri代入绝对检测算法，得到包含离焦像差的被测镜面型，此处i＝0～7。

2.根据权利要求1所述的一种利用平移旋转绝对检测法测包含离焦像差的平面镜面型的方法，其特征在于，

步骤二中，所述有效口径为所述八个位置的通光口径相交的部分，始终小于通光口径。