[发明专利]一种具有回收结构的晶圆片清洗机

说明书

本发明属于晶圆片清洗领域，具体为一种具有回收结构的晶圆片清洗机，包括机壳、清洗机构、液体回收机构、抓取机构，所述机壳上方设置有所述液体回收机构，所述液体回收机构上方设置有所述清洗机构，所述清洗机构上方设置有所述抓取机构；所述机壳包括支撑柱、连接板、底部支架、下箱体、仓门、把手、支撑板、上壳，所述支撑柱上方设置有所述连接板,所述支撑柱一侧设置有所述底部支架，所述底部支架上方设置有所述下箱体，所述下箱体前部设置有所述仓门、所述仓门一侧设置有所述把手，利用清洗机构对晶体进行清洗，利用液体回收机构对废液进行回收再利用，利用抓取机构对晶体抓取避免二次污染，减少清洗剂的使用，降低成本，提高效率。

技术领域

本发明属于晶圆片清洗领域，具体是涉及一种具有回收结构的晶圆片清洗机。

背景技术

硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造，元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素。地壳成分中27.8％是硅元素构成的，仅次于氧元素含量排行第二，硅是自然界中比较富的元素。在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素。硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造，抛光后，晶圆片要通过一系列清洗槽的清洗，这一过程是为去除表面颗粒、金属划痕和残留物，一般的清洗机对于清洗剂的使用浪费严重，导致成本增加。

发明内容

本发明的目的就在于提供一种具有回收结构的晶圆片清洗机。

本发明所采用的技术方案如下：

一种具有回收结构的晶圆片清洗机，包括机壳、清洗机构、液体回收机构、抓取机构，所述机壳上方设置有所述液体回收机构，所述液体回收机构上方设置有所述清洗机构，所述清洗机构上方设置有所述抓取机构；所述机壳包括支撑柱、连接板、底部支架、下箱体、仓门、把手、支撑板、上壳，所述支撑柱上方设置有所述连接板,所述支撑柱一侧设置有所述底部支架，所述底部支架上方设置有所述下箱体，所述下箱体前部设置有所述仓门、所述仓门一侧设置有所述把手，所述下箱体上方设置有所述支撑板，所述支撑板上方设置有所述上壳；所述清洗机构包括散热架、驱动电机、变速箱、旋转盘、定位块、液体防溅盘、收集仓、收集软管、放置盘、步进电机、旋转柱、连接头、支撑臂、喷头，所述底部支架上方设置有所述散热架，所述散热架上方设置有所述驱动电机，所述驱动电机上方设置有所述变速箱，所述变速箱上方设置有所述旋转盘，所述旋转盘上方设置有所述定位块，所述旋转盘外部设置有所述液体防溅盘，所述液体防溅盘下方设置有所述收集仓，所述收集仓下方设置有所述收集软管，所述液体防溅盘一侧设置有所述放置盘，所述液体防溅盘前部设置有所述旋转柱，所述旋转柱下方设置有所述步进电机，所述旋转柱上方设置有所述连接头，所述连接头后部设置有所述支撑臂，所述支撑臂下方设置有所述喷头；所述液体回收机构包括过滤箱、过滤网、排泄阀、第一泵体、第一抽取管道、密闭蒸馏仓、冷凝管、纯净液体储藏箱、第二泵体、第二抽取管道、加热丝，所述底部支架上方设置有所述过滤箱，所述过滤箱内部设置有所述第一泵体和所述过滤网，所述过滤箱一侧设置有所述排泄阀，所述第一泵体上方设置有所述第一抽取管道,所述第一抽取管道一侧设置有所述密闭蒸馏仓，所述密闭蒸馏仓内部设置有所述加热丝，所述密闭蒸馏仓一侧设置有所述冷凝管，所述冷凝管下方设置有所述纯净液体储藏箱，所述纯净液体储藏箱内部设置有所述第二泵体，所述第二泵体上方设置有所述第二抽取管道。

优选地：所述抓取机构包括第一伺服电机、第一滚珠丝杆、第一光轴、底座、气推杆、抓取头，所述上壳内部并位于上方设置有所述第一滚珠丝杆，所述第一滚珠丝杆一侧设置有所述第一伺服电机，所述第一滚珠丝杆后部设置有所述第一光轴，所述第一光轴和所述第一滚珠丝杆外部设置有所述底座，所述底座下方设置有所述气推杆，所述气推杆下方设置有所述抓取头。

如此设置，所述第一伺服电机带动所述第一滚珠丝杆旋转。