[发明专利]用于存储载具的装置和存储载具的方法

说明书

一种存储容器的装置包括储料器，其包括分别被配置为支承容器的架子；吹扫单元，其被配置为当所述储料器处于吹扫模式时，对各个所述架子供应吹扫气体来吹扫所述容器，并且当所述储料器处于正常模式时，仅对各个所述架子供应所述吹扫气体；检查单元，其被配置为在所述储料器处于所述正常模式时，检查供应至各个所述架子的所述吹扫气体的吹扫质量；以及控制单元，其被配置为将所述储料器在所述吹扫模式和所述正常模式之间进行改变，并被配置为根据所述吹扫模式和所述正常模式之间的切换来控制所述吹扫单元。因此，所述装置具有经优化的运行效率。

技术领域

本公开涉及一种用于存储载具的装置和一种存储载具的方法。更具体地，本公开涉及用于分别将容器存储于架子上的装置和分别将容器存储于架子上的方法。

背景技术

通常，用于制造半导体设备的多个半导体处理装置被依次布置以在半导体基板上执行各种处理。半导体处理装置对其执行半导体设备制造处理的诸如半导体基板之类的物体能够以容纳在容器中的状态被供应至各半导体处理装置中，或者能够以容纳在容器中的状态从各半导体处理装置收回。容器的示例包括前开式晶圆传送盒(以下称为FOUP，frontopening unified pod)、前开式装运箱(以下称为FOSB，front opening shipping box)、仓匣(magazine)、光罩盒(reticle pod)等。

容器可以通过包括于架空式升降机运输(以下称为OHT，Overhead HoistTransport)中的运送工具(vehicle)运输。运送工具可以将容纳有物体的容器运输到各个半导体处理装置的装载口，并且可以从装载口拾取容纳有经处理的物体的容器并将容器运输到外部。

多个容器可以临时存储在包括于储料器中的架子上，以便运送工具有效率地运输容器。当容器被装载到架子上时，作为吹扫处理，可用吹扫气体吹扫容器，以去除残留在容器中的烟气或气体，或者防止氧化膜形成于容纳在各个容器中的物体上。然而，根据容器或物体的类型，可能不必吹扫容器。

储料器可以在执行吹扫处理的吹扫模式和停止吹扫处理的正常模式下运行。

当储料器从正常模式再次返回到吹扫模式时，可能需要检查吹扫处理是否能够正确执行，这被称为吹扫质量检查处理。

由于吹扫质量检查处理是在停止装载到架子上的状态下执行，所以具有架子的储料器无法运行，因此储料器可能效率不佳。此外，由于操作者可能需要手动踩踏各个架子来检查吹扫质量，因此检查吹扫质量可能需要花费许多时间和大量成本。

发明内容

本发明的实施方式供应了一种存储容器的装置，能够将储料器从正常模式切换到吹扫模式，同时自动检查使用吹扫气体吹扫容器的吹扫处理的质量。

本发明的实施方式供应了一种存储容器的方法，能够将储料器从正常模式切换到吹扫模式，同时自动检查使用吹扫气体吹扫容器的吹扫处理的质量。

根据本发明的示例性实施方式，公开了一种存储容器的装置。该装置包括：储料器，其包括多个架子，这些架子分别被配置为支承容器；吹扫单元，其被配置为当储料器处于吹扫模式时，对各个架子供应吹扫气体来吹扫容器，并且当储料器处于正常模式时，仅对各个架子供应吹扫气体；检查单元，其被配置为在储料器处于正常模式时，检查供应至各个架子的吹扫气体的吹扫质量；和控制单元，其被配置为根据检查单元的与各个所述架子相关的检查结果将储料器在吹扫模式和正常模式之间进行改变，并被配置为根据吹扫模式和正常模式之间的切换来控制吹扫单元。

在示例性实施方式中，吹扫单元可仅分别向所有架子中未装载容器的空架子供应吹扫气体，以防止吹扫气体在正常模式下被供应至容器中。

这里，检查单元可检查与空架子相关的吹扫质量。