[发明专利]用于激光器的冷却组件及冷却方法

权利要求书

1.一种用于激光器的冷却组件，其特征在于，包括依次层叠设置的：

盖板，设有进口和出口；

射流层，由所述进口流入的所述散热介质经所述射流层时分支为多股，并呈射流状喷向微通道层；

微通道层，所述微通道层具有多条散热通道，每条所述散热通道用于接收喷出的至少部分所述散热介质，所述散热介质经所述散热通道从所述出口流出。

2.根据权利要求1所述的用于激光器的冷却组件，其特征在于，所述射流层设有射流腔和与所述射流腔连通的多个射流孔；

由所述进口流入的所述散热介质进入所述射流腔后，经多个所述射流孔形成多股射流喷出。

3.根据权利要求2所述的用于激光器的冷却组件，其特征在于，多个所述射流孔的正投影呈矩阵状排列，每条所述散热通道平行于所述矩阵的宽或长设置，且每条所述散热通道至少与部分射流孔正对设置，每条所述散热通道上与所述射流孔正对的位置处设有接收孔。

4.根据权利要求2所述的用于激光器的冷却组件，其特征在于，多个所述射流孔均沿所述射流层的厚度方向贯通所述射流层。

5.根据权利要求1所述的用于激光器的冷却组件，其特征在于，所述射流层设有与所述出口连通的汇流口，从所述微通道层流出的所述散热介质通过所述汇流口从所述出口流出。

6.根据权利要求1所述的用于激光器的冷却组件，其特征在于，所述微通道层设有与多条所述散热通道连通的微通道腔，经多条所述散热通道流出的所述散热介质经所述微通道腔汇流后流出。

7.根据权利要求1所述的用于激光器的冷却组件，其特征在于，所述散热通道的延伸方向平行于所述微通道层的宽度方向，多条所述散热通道沿所述微通道层的长度方向间隔设置。

8.一种激光器，其特征在于，包括：冷却组件，所述冷却组件为根据如权利要求1-7中任一项所述的用于激光器的冷却组件。

9.一种激光器的冷却方法，其特征在于，所述方法采用如权利要求1-7中任一项所述的用于激光器的冷却组件对所述激光器进行降温冷却，所述方法包括：

使散热介质通过所述进口进入所述冷却组件；

所述散热介质经所述射流层时分支为多股，并呈射流状喷出，以对所述激光器进行射流冷却；

经所述射流层喷出的所述散热介质流入多条所述散热通道，以对所述激光器进行微通道散热；

对所述激光器冷却后的所述散热介质从所述出口流出。

10.根据权利要求9所述的冷却方法，其特征在于，所述散热介质为去离子水，在所述散热介质流入所述冷却组件之前，使所述散热介质的温度处于预设温度范围内。