[发明专利]一种远程控制固态射频电源供电的方法及系统

说明书

本发明公开了一种远程控制固态射频电源供电的方法及系统，其方法包括：所述远程控制系统基于第一固态射频电源的输出反射功率值和第一负载模块的输出射频信号分析第一负载模块和第一固态射频电源的运行状态；所述远程控制系统在判断运行状态处于安全状态时，所述第一固态射频电源基于所述频率调节信号调节功率放大器的工作频率，并基于功率放大器所输出的电源向第一负载模块供电；所述远程控制系统在判断运行状态处于非安全状态时，所述第一负载模块隔离第一固态射频电源所输出的电源。在本发明实施例中通过远程控制系统基于无线信号获取负载模块上的相关参数值，对相应设备进行集中控制，提高控制效率，减少硬件成本。

技术领域

本发明涉及电源技术领域，尤其涉及一种远程控制固态射频电源供电的方法及系统。

背景技术

固态射频电源一般应用于激发等离子体装置的RF源，通过与负载系统进行匹配，将能量用于等离子体激发，形成等离子体炬，应用于电镀、光谱仪等行业，然而对仪器进行实时状态监测保护就至关重要。由于负载系统、固态射频电源存在多元化和不同型号的影响，现有系统无法基于一个远程控制系统针对不同的负载系统和所对应的固态射频电源来实现相应的远程控制，使得负载系统和固态射频电源间的控制都是单向孤立控制模式，无法做到集中远程控制，使得在多固态射频电源向多负载系统供电输出应用场景中，只能一个个单独去控制，使得控制效率不高，硬件重复投入成本高。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，本发明提供了一种远程控制固态射频电源供电的方法及系统，通过远程控制系统基于无线信号获取负载模块上的相关参数值，对相应设备进行集中控制，提高控制效率，减少硬件成本。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种远程控制固态射频电源供电的方法，所述方法包括：

第一负载模块获取第一固态射频电源的输出反射功率值和第一负载模块的输出射频信号，将所述第一固态射频电源的输出反射功率值和第一负载模块的输出射频信号基于无线信号封装后发送到远程控制系统；

远程控制系统接收第一负载模块所封装的无线信号，并解析无线信号中的第一固态射频电源的输出反射功率值和第一负载模块的输出射频信号；

所述远程控制系统基于第一固态射频电源的输出反射功率值和第一负载模块的输出射频信号分析第一负载模块和第一固态射频电源的运行状态；

所述远程控制系统在判断运行状态处于安全状态时，基于第一固态射频电源的输出反射功率值和第一负载模块的输出射频信号生成频率调节信号，并将所述频率调节信号基于无线信号封装后发送到第一固态射频电源；所述第一固态射频电源基于所述频率调节信号调节功率放大器的工作频率，并基于功率放大器所输出的电源向第一负载模块供电；

所述远程控制系统在判断运行状态处于非安全状态时，基于第一固态射频电源的输出反射功率值和第一负载模块的输出射频信号生成报警信号，并将所述报警信号基于无线信号封装后发送到第一负载模块上，所述第一负载模块隔离第一固态射频电源所输出的电源。

所述第一负载模块获取第一固态射频电源的输出反射功率值和第一负载模块的输出射频信号包括：

所述第一负载模块基于检测模块中的定向耦合器获取第一固态射频电源的输出反射功率值；

所述第一负载模块基于检测模块中的信号检测电路获取电源通过第一负载模块的第一负载模块的输出射频信号。

所述将所述第一固态射频电源的输出反射功率值和第一负载模块的输出射频信号基于无线信号封装后发送到远程控制系统包括：

所述第一负载模块基于第一负载模块上的无线通信模块将所述第一固态射频电源的输出反射功率值、第一负载模块的输出射频信号和第一负载模块的标识基于无线协议封装；

第一负载模块上的无线通信模块将基于无线协议封装的数据发送到远程控制系统上。