[发明专利]一种钌酸锶材料及其制备方法与应用

权利要求书

1.一种钌酸锶材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：对钌酸锶材料的制备原料进行真空热压烧结，真空热压烧结条件包括：真空度≤10^-3Pa，热压温度为600-850℃，热压压力为58.5-100MPa，热压时间为3-3.5h；

所述制备原料经以下步骤得到：将钌源和锶源于120-180℃的烘烤条件下混合2-3h；

所述锶源为SrO，所述钌源为RuO₂，所述锶源与所述钌源按摩尔比为0.9-1.1:0.9-1.1混合；

所述锶源的粒径为100-400目，所述钌源的粒径为100-400目。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，真空热压烧结条件包括：真空度为5×10^-4Pa至1×10^-3Pa，热压温度为600-850℃，热压压力为58.5-90MPa，热压时间为3-3.5h。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述锶源与所述钌源按摩尔比为1:1混合。

4.根据权利要求1-3任一项所述的制备方法，其特征在于，真空热压前，还包括将所述制备原料置于石墨模具内，且所述石墨模具的内壁设有第一隔板以使所述制备原料与所述石墨模具隔离。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，当所述石墨模具为开放式模具时，所述石墨模具的敞开处设有第二隔板以使所述制备原料与真空热压设备隔离。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述第一隔板和所述第二隔板均为三氧化二铝隔板。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述第一隔板的厚度为2-5mm，第二隔板的厚度为3-5mm。

8.一种钌酸锶材料，其特征在于，经权利要求1-7任一项所述的制备方法制备而得。

9.根据权利要求8所述的钌酸锶材料，其特征在于，所述钌酸锶材料的致密度不低于90％。

10.如权利要求8或9所述的钌酸锶材料的应用，其特征在于，所述钌酸锶材料用于加工溅射靶材、信息存储芯片或半导体微型器件中的电极。

11.一种钌酸锶溅射靶材，其特征在于，由权利要求8或9所述的钌酸锶材料加工而得。