[发明专利]特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统和扫描电镜

权利要求书

1.一种特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统，其特征在于，包括：

用于检测晶圆的封闭的量测腔体；

监测装置，所述监测装置用于实时监测所述量测腔体的位置；

气浮装置，所述气浮装置包括固定气浮垫和多个调整气浮垫，所述固定气浮垫设在所述量测腔体的底部以用于承载所述量测腔体，所述调整气浮垫设在所述量测腔体的底部以用于承载所述量测腔体和调整所述量测腔体的位置，所述调整气浮垫的进气口连接有电磁阀以控制调节进气量；

控制装置，所述控制装置分别与所述监测装置和所述气浮装置相连，以根据所述监测装置的监测信息控制所述电磁阀的开关以调节所述调整气浮垫的进气量。

2.根据权利要求1所述的特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统，其特征在于，所述固定气浮垫和多个所述调整气浮垫沿所述量测腔体的底壁的周向间隔开设置。

3.根据权利要求2所述的特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统，其特征在于，所述固定气浮垫和多个所述调整气浮垫分别对应设在所述量测腔体的底壁的拐角处。

4.根据权利要求1所述的特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统，其特征在于，所述调整气浮垫连接有进气管路，所述电磁阀为气体流量调节阀且设在所述进气管路上。

5.根据权利要求1所述的特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统，其特征在于，每个所述调整气浮垫的进气口分别连接有进气管和调整气管，所述进气管和所述调整气管均与气体源装置连接，所述电磁阀设在所述调整气管上。

6.根据权利要求5所述的特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统，其特征在于，所述控制装置通过控制所述电磁阀的开关次数以控制所述调整气管的进气量。

7.根据权利要求5所述的特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统，其特征在于，所述控制装置通过控制所述电磁阀的开关时间来调节所述调整气管的进气量。

8.根据权利要求1所述的特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统，其特征在于，所述监测装置包括多个位置传感器，多个所述位置传感器分别设在所述量测腔体的不同位置处，所述控制装置根据所述位置传感器的监测信息来控制对应的所述调整气浮垫的电磁阀的开关。

9.根据权利要求8所述的特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统，其特征在于，所述位置传感器为CCD图像传感器。

10.根据权利要求8所述的特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统，其特征在于，所述位置传感器为压力传感器，所述压力传感器与所述量测腔体相连以感应所述量测腔体位置移动产生的压力信号，所述控制装置根据所述压力信号控制所述电磁阀。

11.根据权利要求8所述的特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统，其特征在于，所述位置传感器为激光干涉仪。

12.根据权利要求1所述的特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统，其特征在于，还包括气浮平台，所述固定气浮垫和多个所述调整气浮垫设在所述气浮平台上。

13.一种特征尺寸测量用扫描电镜，其特征在于，包括权利要求1-12中任一项所述的特征尺寸测量用扫描电镜的气浮系统。