[发明专利]一种锌镁靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202111050306.4 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN113862619B | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 黄宇彬;余飞;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23P15/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;黄华莲 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 锌镁靶材 及其 制备 方法 | ||
1.一种锌镁靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
(1)将单质锌与单质镁投入真空熔炼炉内熔炼，融化后充分搅拌并保温，得到混合熔炼液；
(2)将混合熔炼液进行浇注，形成锌镁合金压料；
(3)将锌镁合金压料加热，加热后通过一号模具进行挤压，得到第一挤压料；
(4)依次采用二号模具、三号模具、···、N号模具进行挤压，得到靶材毛胚；
(5)对靶材毛坯进行机加工，得到锌镁靶材。
2.如权利要求1所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在所述步骤(1)中，熔炼温度为550±10℃，且升温速率为20℃每分钟，熔炼炉的真空度小于0.01Pa。
3.如权利要求1所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在所述步骤(1)中，保温时间为15分钟。
4.如权利要求1所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在所述步骤(3)或(4)中，采用压头进行挤压，所述模具均包括模具本体，所述模具本体内设有挤压腔，所述挤压腔内同轴设有挤压杆。
5.如权利要求4所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在所述步骤(3)或(4)中，每次挤压时挤压料的形变量为3-5毫米。
6.如权利要求1所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在所述步骤(3)或(4)中，挤压过程中所述模具需保温在300℃，保温时间25～35分钟。
7.如权利要求1所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在所述步骤(3)或(4)中，挤压前需先将挤压料加热到370～385℃。
8.如权利要求1所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在进行机加工前需先将靶材毛坯进行退火处理，退火温度为340～350℃，退火时间为2.5-3小时。
9.如权利要求1所述的锌镁靶材的制备方法，其特征在于：在所述步骤(5)中，机加工以525～625RPM，进刀量0.08～0.12mm/道加工所述靶材毛坯的内径、外径以及长度，直至将靶材外部氧化皮完全去除并达到要求尺寸公差。
10.一种锌镁靶材，其特征在于：其由如权利要求1-9任一项所述的锌镁靶材的制备方法制得。
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