[发明专利]化学制剂过滤器更换装置

说明书

本发明的目的在于提供一种化学制剂过滤器更换装置，在结合过滤器外壳和过滤器头的情况下使过滤器外壳和过滤器头的相互面对的面处于水平状态。为了实现该目的的化学制剂过滤器更换装置，包括：过滤器组件固定部，固定过滤器组件，过滤器组件由过滤器外壳和过滤器头构成，过滤器外壳内部容纳用于过滤化学制剂的滤芯，过滤器头结合于过滤器外壳的开放的一侧；过滤器外壳拆装模块，移动过滤器外壳，以从过滤器组件拆卸过滤器外壳或者将拆卸的过滤器外壳结合于过滤器组件；其中，在过滤器外壳拆装模块具有至少一个弹性部件，弹性部件在移动过滤器外壳来紧贴于过滤器头的情况下使弹力作用于过滤器外壳和过滤器头的紧贴面。

技术领域

本发明涉及用于拆卸及结合用于过滤化学制剂的化学制剂过滤器组件的过滤器外壳和滤芯的化学制剂过滤器更换装置。

背景技术

通常，制造半导体、半导体装置、LCD、OLED的公司、制药公司及油漆公司等，使用有害化学物质的所有公司正在使用各种种类的化学制剂，而且安全供应这种化学制剂的方式也正在变得多种多样。

这种化学制剂会经过化学制剂过滤器进行供应，以根据制造工艺的特性以杂质最少化的高纯度状态使用。

所述化学制剂过滤器根据种类其形状及更换方法也有所不同，而且根据化学制剂的种类及所需的高纯度状态保持标准有各种更换周期。

在更换化学制剂过滤器时，将过滤器组件的过滤器外壳和过滤器头分开更换滤芯之后将过滤器外壳重新结合于过滤器头，在此利用夹紧装置夹紧所述过滤器外壳和所述过滤器头的结合部，进而坚固地结合过滤器外壳和过滤器头，以防止过滤器组件内部的化学制剂及烟雾(FUME)泄漏。

在将所述过滤器外壳结合于过滤器头的情况下，可在过滤器外壳和过滤器头的相互面对的面倾斜的状态下结合。如此，相互面对的面倾斜的理由可能有很多，诸如过滤器外壳和过滤器头的相互面对的部分的平整度差、在组装升降驱动部时出现的公差、在过滤器外壳结合于升降驱动部的部分出现的公差、过滤器头的组装公差等。

如上所述，若过滤器外壳和过滤器头的相互面对的面在倾斜的状态下结合，则因为过滤器外壳和过滤器头之间的微小的间隙未能保持气密，因此存在化学制剂及烟雾泄漏的问题。

作为用于在过滤器组件更换滤芯的以往的技术，公开了韩国授权专利第10-1921600号。

发明内容

技术问题

本发明是为了解决上述整体问题而提出的，目的在于提供一种化学制剂过滤器更换装置，在结合过滤器外壳和过滤器头的情况下使过滤器外壳和过滤器头的相互面对的面处于水平状态。

技术方案

用于达到上述目的的本发明的化学制剂过滤器更换装置包括：过滤器组件固定部，固定过滤器组件，所述过滤器组件由过滤器外壳和过滤器头构成，所述过滤器外壳内部容纳用于过滤化学制剂的滤芯，所述过滤器头结合于所述过滤器外壳的开放的一侧；过滤器外壳拆装模块，移动所述过滤器外壳，以从所述过滤器组件拆卸所述过滤器外壳或者将所述拆卸的过滤器外壳结合于所述过滤器组件；其中，在所述过滤器外壳拆装模块具有至少一个弹性部件，所述弹性部件在移动所述过滤器外壳来紧贴于所述过滤器头的情况下使弹力作用于所述过滤器外壳和过滤器头的紧贴面。

技术效果

通过本发明，在结合过滤器外壳和过滤器头的情况下，使过滤器外壳和过滤器头的相互面对的面处于水平状态，进而保持过滤器外壳和过滤器头之间的气密，可防止化学制剂及烟雾泄漏。

附图说明

图1是示出在本发明的化学制剂过滤器更换装置中从过滤器头拆卸过滤器外壳的状态的立体图；

图2是示出在图1的状态下过滤器外壳下降的状态的立体图；

图3是示出在本发明的过滤器组件固定部中夹紧过滤器外壳和过滤器头的状态的剖面图；