[发明专利]用于制造微机电结构的方法和微机电结构

权利要求书

1.一种用于制造微机电结构(4)的方法，所述方法具有以下步骤：

在衬底(30)上方形成至少一个第一绝缘层(31)；

在所述第一绝缘层(31)上形成第一功能层(41)，其中，所述第一功能层(41)设有在所述第一功能层(41)的整个厚度上延伸的槽口(18)；

在所述第一功能层(41)上形成第二绝缘层(32)；

在所述第二绝缘层(32)上方形成第二功能层(42)，其中，所述第二功能层(42)设有在所述第二功能层(42)的整个厚度上延伸的槽口(26)；

在所述第二功能层(42)上方形成第三绝缘层(33)；

在所述第三绝缘层(33)上形成第三功能层(43)，其中，所述第三功能层(43)的横向区域如此结构化成具有槽口(2)，使得结构化的横向区域(25)限定可运动的结构(1)，其中，所述第一、第二和第三绝缘层(31，32，33)以及所述第一和第二功能层(41，42)分别具有横向区域，所述横向区域布置在所述第三功能层(43)的结构化的横向区域(25)下方并且相应于所述结构化的横向区域(25)的垂直投影；

蚀刻所述第一、第二和第三绝缘层(31，32，33)，其中，完全去除在所述第三绝缘层(33)的横向区域中的第三绝缘层(33)并且由此使所述可运动的结构(1)暴露，其中，至少部分地去除在所述横向区域中的第二绝缘层(32)并且从所述横向区域中至少部分地去除所述第三绝缘层(33)；

其中，所述第一功能层(41)的布置在所述第一功能层(41)的横向区域中的所有槽口(18)通过窄的沟槽(18)形成，所述沟槽的宽度(22)小于所述第一与第三功能层(41，43)之间的垂直距离(15)的两倍，其中，所述第一功能层(41)如此形成，使得所述第一功能层在所述横向区域中具有至少一个电绝缘部段(19)，所述电绝缘部段通过沟槽(18)与所述第一功能层(41)的剩余部分分开。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述第一功能层(41)的横向区域中的沟槽(18)的宽度(22)大于所述第一功能层(41)的厚度的一半。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述第二功能层(42)如此形成，使得所述第二功能层具有至少一个第一和第二部段(20，20‘)并且这两个部段(20，20‘)彼此电绝缘，其中，所述第一功能层(41)如此形成，使得所述第一功能层具有第一和第二电绝缘部段(19、19‘)，所述第一和第二电绝缘部段通过沟槽(18)彼此分开并且与所述第一功能层(41)的剩余部分分开，其中，所述第一功能层(41)的第一部段(19)布置在所述第二功能层(42)的第一部段(20)下方并且所述第一功能层(41)的第二部段(19‘)布置在所述第二功能层(42)的第二部段(20‘)下方。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述第一功能层(41)如此形成，使得所述第一功能层在所述横向区域中具有屏蔽部段(21)，所述屏蔽部段通过沟槽(18)与所述第一功能层(41)的剩余部分分开，其中，所述屏蔽部段(21)布置在所述第二功能层(42)的槽口(26)下方并且与所述第二功能层(42)的至少一个部段(20)导电连接。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述第一功能层(41)如此形成，使得所述第一功能层在所述横向区域中具有第一和第二屏蔽部段(21，21‘)，所述第一和第二屏蔽部段布置在所述第二功能层的槽口(26)下方的周围环境中，其中，所述第一屏蔽部段(21)与所述第二功能层(42)的第一部段(20)导电连接，并且所述第二屏蔽部段(20‘)与所述第二功能层(42)的第二部段(20‘)导电连接。