[发明专利]一种在剃须刀盖帽表面形成多纳米涂层的方法及系统

权利要求书

1.一种在剃须刀盖帽表面形成多纳米涂层的方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：利用磁力抛光机对剃须刀盖帽进行抛光，抛光结束后用清水冲洗干净，晾干备用；

步骤2：将剃须刀盖帽投入到有机溶剂中进行超声清洗，超声清洗结束后将剃须刀盖帽捞出，晾干备用；

步骤3：将剃须刀盖帽投入到振动盘内，对剃须刀盖帽进行排料；利用排料机械手将排列整齐的剃须刀盖帽转移到排料板上，剃须刀盖帽在排料板上成矩形阵列式分布；

步骤4：利用上料机械手将排料板上的多个成矩形阵列分布的剃须刀盖帽同时转移到载具上，所述载具对各剃须刀盖帽进行固定，使剃须刀盖帽的顶面朝上；所述载具上设有用于固定剃须刀盖帽的夹紧单元，所述夹紧单元包括圆柱形底座，圆柱形底座中心设有通孔，通孔内设有与圆柱型底座滑动配合的拉杆，拉杆上端凸出于圆柱形底座的上端设置，且拉杆上端设有弹性勾爪，所述弹性勾爪由多个沿拉杆周向间隔设置的弹性丝构成，各弹性丝呈锚钩状设置；所述圆柱形底座与拉杆之间设有弹性单元，弹性单元被装配为其弹力能够驱使圆柱形底座相对于拉杆向上运动；

步骤5：将载具转移至多靶磁控溅射装置的腔体内，该腔体底部设有转盘，转盘上沿周向设有多个用于安装载具的工位，载具安装在转盘上以后具有以下两种工作状态，其一是载具随转盘公转且载具与转盘之间无相对转动，其二是载具相对于转盘自转且转盘保持静置；腔体上方设有能够开启的腔盖，多个溅射靶被安装在该腔盖上，各溅射靶位于载具的公转路径上；

步骤6：将腔体抽真空，然后向腔体内通入氩气，对剃须刀盖帽施加200-350V的直流电压，表面溅射刻蚀1-3min；

步骤7：向腔体内通入氩气和氮气，将腔体气压调整至0.2-0.6Pa，氩气流量为30-40sccm，氮气流量为30-35sccm，转盘驱动各载具交替停留在各个溅射靶下方，在剃须刀盖帽表面形成多层叠加的纳米润滑涂层；所述溅射靶至少其中两种分别为NbN靶和WS₂靶；载具在溅射靶下方停留时，载具相对于转盘自转；

步骤8：镀膜结束后，将载具从转盘上取下并放置在输送带上，输送带将载具转移至卸料工位，卸料工位的卸料机械手将剃须刀盖帽从载具上取下并放置到收集框内。

2.一种在剃须刀盖帽表面形成多纳米涂层的系统，其特征在于：包括

磁力抛光机，用于对剃须刀盖帽表面进行抛光；

超声波清洗机，用于对剃须刀盖帽表面进行清洗；

排料机构，包括振动盘、排料机械手和排料板，振动盘用于将剃须刀盖帽排成一排，排料板上设有成矩形阵列分布的多个定位槽，排料机械手用于从振动盘的物料输出端抓取剃须刀盖帽并将其放置在排料板的定位槽内；

上料机构，包括上料机械手，上料机械手具有多个成矩形整列分布的抓取单元，上料机械手用于将排料盘上多个成矩形阵列分布的剃须刀盖帽转移到载具上，所述载具上设有用于固定剃须刀盖帽的夹紧单元；所述夹紧单元包括圆柱形底座，圆柱形底座中心设有通孔，通孔内设有与圆柱型底座滑动配合的拉杆，拉杆上端凸出于圆柱形底座的上端设置，且拉杆上端设有弹性勾爪，所述弹性勾爪由多个沿拉杆周向间隔设置的弹性丝构成，各弹性丝呈锚钩状设置；所述圆柱形底座与拉杆之间设有弹性单元，弹性单元被装配为其弹力能够驱使圆柱形底座相对于拉杆向上运动；

多靶磁控溅射装置，包括腔体，腔体底部设有转盘，转盘上沿周向设置有多个用于连接载具的连接单元，腔体上端设有腔盖，多个溅射靶被安装在腔盖上，且溅射靶位于载具回转路径的上方；

卸料机械手，用于将剃须刀盖帽从载具上取下并放置到收集区域；

还包括输送机构，所述输送机构用于输送载具在上述各装置之间进行转移。

3.根据权利要求2所述的在剃须刀盖帽表面形成多纳米涂层的系统，其特征在于：载具包括相互间隔设置的底板和顶板，所述底板和顶板通过导柱构成相对滑动连接，所述圆柱形底座与顶板固接，所述拉杆的下端与底板固接，所述弹性单元是设置在导柱上的压簧。

4.根据权利要求2所述的在剃须刀盖帽表面形成多纳米涂层的系统，其特征在于：所述拉杆上端的侧壁上以及圆柱形底座的上端面上均设有用于避让所述弹性丝的避让槽。