[发明专利]一种双远心镜头和光刻系统

权利要求书

1.一种双远心镜头，其特征在于，所述双远心镜头从物面侧到像面侧依次包括：

第一透镜群、光阑、第二透镜群和保护玻璃；

所述第一透镜群从物面侧到像面侧依次包括：

负光焦度的第一透镜，正光焦度的第二透镜，正光焦度的第三透镜，正光焦度的第四透镜，负光焦度的第五透镜和负光焦度的第六透镜；

所述第二透镜群从物面侧到像面侧依次包括：

正光焦度的第七透镜，负光焦度的第八透镜，负光焦度的第九透镜，正光焦度的第十透镜，负光焦度的第十一透镜，正光焦度的第十二透镜，正光焦度的第十三透镜；

所述双远心镜头满足以下条件式：

0.45＜fg1/fg2＜0.85；

WD/TTL＞0.3；

其中，fg1为第一透镜群的焦距，fg2为第二透镜群的焦距，WD为所述保护玻璃与像面之间的间距，TTL为所述双远心镜头的光学总长。

2.根据权利要求1所述的一种双远心镜头，其特征在于：

所述第一透镜群及第二透镜群中透镜由冕玻璃和/或石英玻璃和/或火石玻璃制成。

3.根据权利要求1所述的一种双远心镜头，其特征在于：

从物面侧到像面侧所述第二透镜群内的透镜的外径逐渐增大。

4.根据权利要求1或3所述的一种双远心镜头，其特征在于：

所述双远心镜头满足以下条件式：

0.4＜Φg2max/WD＜0.5；

其中，Φg2max为第二透镜群内外径最大的透镜的外径。

5.根据权利要求1所述的一种双远心镜头，其特征在于：

所述第一透镜群内的透镜均为球面透镜；

和/或

所述第二透镜群内的透镜均为球面透镜。

6.根据权利要求1所述的一种双远心镜头，其特征在于：

所述第十三透镜满足以下条件式：

0.7＜|(R131-R132)/(R131+R132)|＜1.5；

|R131|＜|R132|；

其中，R131为所述第十三透镜靠近物面侧的曲面，R132为所述第十三透镜靠近像面侧的曲面。

7.根据权利要求1所述的一种双远心镜头，其特征在于：

所述第十一透镜满足以下条件式：

0.7＜|(R111-R112)/(R111+R112)|＜1.5；

|R111|＜|R112|；

其中，R111为所述第十一透镜靠近物面侧的曲面，R112为所述第十一透镜靠近像面侧的曲面。

8.一种光刻系统，包括：

照明系统；

如权利要求1至7中任何一项所述的双远心镜头；

及基板；

所述照明系统用于出射波长为355nm-410nm的光束。