[发明专利]微机械结构和微机械传感器

权利要求书

1.一种微机械结构(1)，其具有衬底(2)和相对于所述衬底(2)可动的振动质量(3)，还具有第一探测机构(4)和第二探测机构(5)，其中第一方向(11)和基本上垂直于该第一方向(11)的第二方向(12)限定所述衬底(2)的主延伸平面，其中所述第一探测机构(4)设定为用于探测所述振动质量(3)沿第一方向(11)的平移偏转，其中所述第二探测机构(5)设定为用于探测所述振动质量(3)绕旋转轴线的旋转偏转，其中所述旋转轴线沿第二方向(12)设置，其中所述振动质量(3)通过一个锚固件(6)和四个沿所述第二方向设置的扭转弹簧部段(7)与所述衬底(2)连接，其中所述第一探测机构(4)具有电极结构，该电极结构包括固定在所述振动质量(3)上的第一电极(41)和固定在所述衬底(2)上的第二电极(42)，其中所述第一电极(41)和所述第二电极(42)具有沿所述第二方向(12)和沿一第三方向(13)基本上二维的延展，其中所述第三方向(13)垂直于所述主延伸平面，其中所述锚固件(6)具有第一部段(61)和第二部段(62)，其中在所述第一部段(61)与所述第二部段(62)之间设置有间隙(63)，其中一连接件(8)连接两个第一电极(41)，其中该连接件(8)引导通过所述间隙(63)。

2.根据权利要求1所述的微机械结构(1)，其中，多个第一电极(41)设置在所述锚固件(6)的第一侧(64)上，其中多个第一电极(41)设置在所述锚固件(6)的与所述第一侧(64)对置的第二侧(65)上，其中一第一横向结构(81)将所述第一侧(64)上的第一电极(41)与所述连接件(8)连接，并且一第二横向结构(82)将所述第二侧(65)上的第一电极(41)与所述连接件(8)连接。

3.根据权利要求1或2所述的微机械结构(1)，其中，所述连接件(8)具有至少一个第一隆起部(83)，在所述第一隆起部(83)的区域中所述连接件(8)与所述衬底(2)之间的间隔相比于在所述第一隆起部(83)之外所述连接件(8)与所述衬底(2)之间的间隔减小。

4.根据权利要求1至3之一所述的微机械结构(1)，其中，所述连接件(8)具有至少一个第二隆起部(84)，在所述第二隆起部(84)的区域中所述连接件(8)与所述锚固件(6)之间的间隔相比于在第二隆起部(84)之外所述连接件(8)与所述锚固件(6)之间的间隔减小。

5.根据权利要求1至4之一所述的微机械结构(1)，其中，所述振动质量(3)具有框架(31)，其中所述扭转弹簧部段(7)邻接所述框架(31)和所述锚固件(6)，其中所述第一电极(41)邻接所述框架(31)。

6.根据权利要求5所述的微机械结构(1)，其中，通过所述扭转弹簧部段(7)、所述锚固件(6)和所述框架(31)形成两个外区域(34)和两个内区域(35)，其中所述外区域(34)设置在所述框架(31)与分别两个扭转弹簧部段(7)之间，其中所述内区域(35)分别设置在两个扭转弹簧部段(7)、所述框架(31)和所述锚固件(6)之间，其中所述连接件(8)将分别设置在所述内区域(35)之一中的第一电极(41)相互连接。

7.根据权利要求5或6所述的微机械结构(1)，其中，所述框架(31)沿第一方向(11)具有关于所述锚固件(6)和所述扭转弹簧部段(7)不对称的质量分布(32、33)。

8.根据权利要求5至7之一所述的微机械结构(1)，其中，所述第二探测机构(5)包括设置在所述框架(31)上的第三电极(53)和设置在所述衬底(2)上的第四电极(54)。

9.一种微机械传感器(9)，其包括根据权利要求1至8之一所述的微机械结构(1)和用于读取第一探测机构(4)和第二探测机构(5)的电气电路(91)。

10.根据权利要求9所述的微机械传感器(9)，其中，所述电气电路(91)设置为用于求取由至少一个第一电极(41)和至少一个第二电极(42)形成的第一电容器的第一电容以及由至少一个第三电极(53)和至少一个第四电极(54)形成的第二电容器的第二电容。