[发明专利]用于连接具有振动隔离的分析系统的联接器

权利要求书

1.一种用于将需要振动隔离的基于真空的分析系统连接在一起的联接器，其包括：

具有纵向轴线的管状连接器，所述连接器包括用于连接到第一分析系统的第一端和用于减少振动传递并允许所述第一分析系统在横向于所述连接器的所述纵向轴线的方向上移位的柔性部分；以及

与所述柔性部分纵向分离的密封件，其用于所述连接器与第二分析系统之间的真空密封；

其中所述连接器含有用于在所述第一分析系统与所述第二分析系统之间传递离子的离子光学器件。

2.根据权利要求1所述的联接器，其中所述柔性部分位于所述连接器的所述第一端处或附近。

3.根据权利要求1或2所述的联接器，其中所述柔性部分为波纹管。

4.根据前述权利要求中任一项所述的联接器，其中所述密封件位于所述连接器的与所述第一端相对的第二端处或附近。

5.根据前述权利要求中任一项所述的联接器，其中所述密封件用于在所述分析系统外部的大气压与所述分析系统内部的高真空或超高真空之间进行密封。

6.根据权利要求5所述的联接器，其中所述密封件包括第一密封件和第二密封件，所述第二密封件比所述第一密封件距所述柔性部分更远，其中所述第一密封件用于密封大气压，且所述第二密封件用于密封高真空或超高真空。

7.根据权利要求6所述的联接器，其中所述第一密封件与所述第二密封件之间的空间配置成差动泵送到处于大气压与所述分析系统内部的所述真空中间的压力。

8.根据权利要求6或7所述的联接器，其中所述柔性部分为第一柔性部分且所述连接器进一步包括位于所述第一密封件与所述第二密封件之间的第二柔性部分。

9.根据权利要求8所述的联接器，其中所述第二柔性部分为波纹管。

10.根据权利要求6至9中任一项所述的联接器，其中所述第一密封件和所述第二密封件不形成金属到金属接触，和/或所述第一密封件和所述第二密封件都不导电，和/或所述第一密封件和所述第二密封件为O形环。

11.根据权利要求6至10中任一项所述的联接器，其中所述第一密封件具有比所述第二密封件更高的硬度。

12.根据权利要求6至11中任一项所述的联接器，其中所述第一密封件为弹性体密封件，优选地为氟橡胶，和/或所述第二密封件为聚合物密封件，优选地为PTFE。

13.根据前述权利要求中任一项所述的联接器，其中所述离子光学器件包括用于引导离子的多极杆。

14.根据权利要求13所述的联接器，其中所述多极杆的一端可旋转地支撑在所述连接器内部，且所述多极杆的另一端支撑在所述第一分析系统内部。

15.根据权利要求14所述的联接器，其中所述多极杆的旋转中心位于所述连接器的所述纵向轴线上靠近所述第一密封件或在与所述第一密封件相同的平面中的位置处。

16.根据权利要求14或15所述的联接器，其中所述多极杆的所述一端通过万向接头连接到另一多极杆。

17.根据权利要求13至16中任一项所述的联接器，其中支撑在一个所述分析系统内部的所述多极杆的末端通过滑动配合位于所述分析系统的外壳内。

18.根据前述权利要求中任一项所述的联接器，其中所述分析系统之间在纵向方向上的相对运动通过一个或多个止动件和/或一个或多个接近传感器来控制。