[发明专利]防开裂的旋转靶材总成

权利要求书

1.防开裂的旋转靶材总成，包括背管(2)和至少两段旋转靶材管(3)，这些旋转靶材管(3)轴向排列，套在背管(2)外侧，随背管(2)一同绕背管(2)轴线(Z)旋转，旋转靶材管(3)内径大于背管(2)外径，其特征是，相邻的两段旋转靶材管(3)间隔距离(4)为0.5mm～0.7mm。

2.如权利要求1所述的防开裂的旋转靶材总成，其特征是，所述旋转靶材管(3)长度为250mm～300mm。

3.如权利要求1所述的防开裂的旋转靶材总成，其特征是，所述旋转靶材管(3)主材料为硅，且/或所述背管(2)采用不锈钢或钛合金制成。

4.如权利要求2所述的防开裂的旋转靶材总成，其特征是，所述旋转靶材管(3)主材料为硅，且/或所述背管(2)采用不锈钢或钛合金制成。

5.如权利要求1所述的防开裂的旋转靶材总成，其特征是，所述背管(2)采用不锈钢或钛合金制成。

6.如权利要求1所述的防开裂的旋转靶材总成，其特征是：所述旋转靶材管(3)长度为250mm～300mm；所述旋转靶材管(3)主材料为硅；所述背管(2)采用不锈钢或钛合金制成。

7.如权利要求1所述的防开裂的旋转靶材总成，其特征是，所述至少两段旋转靶材管(3)套在所述背管(2)外侧的中部，背管(2)端部朝该端伸出并具有用于安装到驱转设备中的安装部(21)。

8.如权利要求1～7中任一项所述的防开裂的旋转靶材总成，其特征是，旋转靶材管(3)的内侧壁与背管(2)的外侧壁之间形成有空隙(4)，该空隙(4)中注入有熔接剂，旋转靶材管(3)通过该熔接剂固定连接背管(2)。

9.如权利要求8所述的防开裂的旋转靶材总成，其特征是，所述熔接剂是二氧化铟。