[发明专利]一种石英表面复合涂层及其制备方法

说明书

本发明涉及一种石英表面复合涂层，包括沉积于石英材料表面上的第一SiOsubgt;2/subgt;/SiC复合涂层，沉积于所述第一SiOsubgt;2/subgt;/SiC复合涂层表面的第二SiOsubgt;2/subgt;/SiC复合涂层，以及所述沉积于第二SiOsubgt;2/subgt;/SiC复合涂层表面的SiC涂层；所述第一SiOsubgt;2/subgt;/SiC复合涂层中，SiOsubgt;2/subgt;的含量高于SiC的含量；所述第二SiOsubgt;2/subgt;/SiC复合涂层中，SiOsubgt;2/subgt;的含量与SiC的含量比例相近。该复合涂层的结构稳定，与石英表面之间的结合力强，且耐氢氟酸腐蚀性能优异，能够防止石英在高温热处理条件下与晶片发生粘结，同时能够防止石英中的杂质挥发对晶片造成污染，有效保障晶片的质量。除此之外，本发明还提供一种石英表面复合涂层的制备方法，同样具有上述技术效果，且制备工艺简单，成本低。

技术领域

本发明涉及半导体晶片热处理技术领域，尤其涉及一种石英表面复合涂层及其制备方法。

背景技术

石英是主要造岩矿物之一，一般指低温石英(α-石英)，是石英族矿物中分布最广的一个矿物，广义的石英还包括高温石英(β-石英)和柯石英等。石英是一种物理性质和化学性质均十分稳定的矿产资源，其热膨胀系数较小，能够承受剧烈的温度变化而不炸裂，具有较强的耐腐蚀性能(是不锈钢的150倍)，尤其在高温下具有良好的化学稳定性。因此，石英玻璃常被作为晶舟材料使用。

然而，石英舟在实际使用过程中存在一些缺点，例如：1、石英舟在高温热处理下容易和晶片发生粘结；2、石英舟里面的一些杂质容易挥发出来污染晶片，降低晶片质量；3、虽然石英玻璃耐酸碱腐蚀能力较强，但是不耐氢氟酸腐蚀。

因此，如何提供一种结构稳定，耐氢氟酸腐蚀性能优异，能够有效保障晶片质量的石英表面复合涂层，成为了本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种石英表面复合涂层，该复合涂层的结构稳定，与石英表面之间的结合力强，且耐氢氟酸腐蚀性能优异，能够防止石英在高温热处理条件下与晶片发生粘结，同时能够防止石英中的杂质挥发对晶片造成污染，有效保障晶片的质量。除此之外，本发明还提供一种石英表面复合涂层的制备方法，同样具有上述技术效果，且制备工艺简单，成本低。

本发明的技术方案如下：

一种石英表面复合涂层，包括沉积于石英材料表面上的第一SiO₂/SiC复合涂层，沉积于所述第一SiO₂/SiC复合涂层表面的第二SiO₂/SiC复合涂层，以及所述沉积于第二SiO₂/SiC复合涂层表面的SiC涂层；所述第一SiO₂/SiC复合涂层中，SiO₂的含量高于SiC的含量；所述第二SiO₂/SiC复合涂层中，SiO₂的含量与SiC的含量比例相近。

优选的，所述第一SiO₂/SiC复合涂层中，SiO₂的含量为60-90wt％。

优选的，所述第二SiO₂/SiC复合涂层中，SiO₂的含量为50-60wt％。

优选的，所述第一SiO₂/SiC复合涂层、所述第二SiO₂/SiC复合涂层、以及所述SiC涂层的厚度比例为(1-5μm)：(1-5μm)：(50-100μm)，所述第一SiO₂/SiC复合涂层、所述第二SiO₂/SiC复合涂层、以及所述SiC涂层的总厚度为52-110μm。