[发明专利]一种钽酸锂晶体的退火极化工艺在审

专利信息
申请号: 202111067158.7 申请日: 2021-09-13
公开(公告)号: CN113737283A 公开(公告)日: 2021-12-03
发明(设计)人: 马立强;范子亮;胡振武;刘红桥;姚辉 申请(专利权)人: 无锡亮睿智能传感技术有限公司
主分类号: C30B29/30 分类号: C30B29/30;C30B33/02;C30B33/04
代理公司: 焦作市科彤知识产权代理事务所(普通合伙) 41133 代理人: 杨明环
地址: 214000 江苏省无锡市新吴*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 钽酸锂 晶体 退火 极化 工艺
【权利要求书】:

1.一种钽酸锂晶体的退火极化工艺,其特征在于:包括如下步骤:

步骤一,选取直径和高大于钽酸锂晶棒30mm-40mm的99氧化铝坩埚,放置于退火炉中;

步骤二,将钽酸锂晶棒以Z向垂直放置在坩埚中部,钽酸锂晶棒的上端面及下端面均覆盖有多晶料块体,钽酸锂晶棒与多晶料块体接触良好;

步骤三,所述钽酸锂晶棒下端的多晶料块体的底部覆盖有电极片,钽酸锂晶棒上端的多晶料块体的顶部也覆盖有电极片,两个电极片分别通过铂丝与恒流电源的正负极连接;

步骤四,退火炉炉温升至1450℃并保温8-10个小时,然后降温至650℃,再保温6-8小时后开始施加电流,沿钽酸锂晶棒光轴方向施加1mA/cm2的电流,加电流2小时后,退火炉继续降温;

步骤五,开始降温3小时后,炉温降至550℃左右,即可去除电场;

步骤六,炉温降至室温后即完成钽酸锂晶棒的极化。

2.根据权利要求1所述的一种钽酸锂晶体的退火极化工艺,其特征在于:步骤一中的退火炉的最高温度达1500-1600℃。

3.根据权利要求1所述的一种钽酸锂晶体的退火极化工艺,其特征在于:步骤二中的多晶料块体的厚度为10mm-12mm,所述多晶料块体为预制烧结料,多晶料块体的直径与钽酸锂晶棒直径一致,所述钽酸锂晶棒的上、下端面及多晶料块体与钽酸锂晶棒接触的端面经均经过研磨处理。

4.根据权利要求3所述的一种钽酸锂晶体的退火极化工艺,其特征在于:所述钽酸锂晶棒的上、下端面及多晶料块体与钽酸锂晶棒接触的端面均采用1000号的金刚砂进行研磨处理,研磨时间为2小时。

5.根据权利要求1所述的一种钽酸锂晶体的退火极化工艺,其特征在于:所述步骤三中的两个电极片与铂丝焊接;所述电极片的直径、多晶料块体的直径及钽酸锂晶棒端面的直径尺寸一致,且相互之间接触良好。

6.根据权利要求1所述的一种钽酸锂晶体的退火极化工艺,其特征在于:所述步骤三中电极片的厚度为0.5mm,铂丝的直径为0.5mm。

7.根据权利要求1所述的一种钽酸锂晶体的退火极化工艺,其特征在于:所述步骤四中退火炉的降温速度为30℃/小时。

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