[发明专利]一种钽酸锂晶体的退火极化工艺在审
申请号: | 202111067158.7 | 申请日: | 2021-09-13 |
公开(公告)号: | CN113737283A | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 马立强;范子亮;胡振武;刘红桥;姚辉 | 申请(专利权)人: | 无锡亮睿智能传感技术有限公司 |
主分类号: | C30B29/30 | 分类号: | C30B29/30;C30B33/02;C30B33/04 |
代理公司: | 焦作市科彤知识产权代理事务所(普通合伙) 41133 | 代理人: | 杨明环 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 钽酸锂 晶体 退火 极化 工艺 | ||
1.一种钽酸锂晶体的退火极化工艺,其特征在于:包括如下步骤:
步骤一,选取直径和高大于钽酸锂晶棒30mm-40mm的99氧化铝坩埚,放置于退火炉中;
步骤二,将钽酸锂晶棒以Z向垂直放置在坩埚中部,钽酸锂晶棒的上端面及下端面均覆盖有多晶料块体,钽酸锂晶棒与多晶料块体接触良好;
步骤三,所述钽酸锂晶棒下端的多晶料块体的底部覆盖有电极片,钽酸锂晶棒上端的多晶料块体的顶部也覆盖有电极片,两个电极片分别通过铂丝与恒流电源的正负极连接;
步骤四,退火炉炉温升至1450℃并保温8-10个小时,然后降温至650℃,再保温6-8小时后开始施加电流,沿钽酸锂晶棒光轴方向施加1mA/cm2的电流,加电流2小时后,退火炉继续降温;
步骤五,开始降温3小时后,炉温降至550℃左右,即可去除电场;
步骤六,炉温降至室温后即完成钽酸锂晶棒的极化。
2.根据权利要求1所述的一种钽酸锂晶体的退火极化工艺,其特征在于:步骤一中的退火炉的最高温度达1500-1600℃。
3.根据权利要求1所述的一种钽酸锂晶体的退火极化工艺,其特征在于:步骤二中的多晶料块体的厚度为10mm-12mm,所述多晶料块体为预制烧结料,多晶料块体的直径与钽酸锂晶棒直径一致,所述钽酸锂晶棒的上、下端面及多晶料块体与钽酸锂晶棒接触的端面经均经过研磨处理。
4.根据权利要求3所述的一种钽酸锂晶体的退火极化工艺,其特征在于:所述钽酸锂晶棒的上、下端面及多晶料块体与钽酸锂晶棒接触的端面均采用1000号的金刚砂进行研磨处理,研磨时间为2小时。
5.根据权利要求1所述的一种钽酸锂晶体的退火极化工艺,其特征在于:所述步骤三中的两个电极片与铂丝焊接;所述电极片的直径、多晶料块体的直径及钽酸锂晶棒端面的直径尺寸一致,且相互之间接触良好。
6.根据权利要求1所述的一种钽酸锂晶体的退火极化工艺,其特征在于:所述步骤三中电极片的厚度为0.5mm,铂丝的直径为0.5mm。
7.根据权利要求1所述的一种钽酸锂晶体的退火极化工艺,其特征在于:所述步骤四中退火炉的降温速度为30℃/小时。
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