[发明专利]一种具有记忆功能的压力传感器

权利要求书

1.一种具有记忆功能的压力传感器，其特征在于，包括：第一电极、第二电极以及位于第一电极和第二电极之间的功能层，所述功能层包括绝缘层、填充于绝缘层内的金属纳米颗粒以及包覆于金属纳米颗粒表面的相变层；所述金属纳米颗粒由金属纳米颗粒等离子体共振波长激光照射而产生温度变化，促使所述金属纳米颗粒表面的相变层发生相变，从而改变相变层的电阻值；通过金属纳米颗粒等离子体共振波长激光照射区域数量或者照射区域大小的变化，获得连续变化的功能层等效电阻值；在不同的电阻值下，通过对压力传感器施加压力，使得包覆有相变层的金属纳米颗粒之间相互接触，可获得不同的传感灵敏度，最终实现压力传感器对灵敏度的记忆以及灵敏度的非易失连续可调，所述相变层由硫系化合物制成，所述硫系化合物包括、或体系，所述金属纳米颗粒由金、银、铜或者氮化钛制成。

2.如权利要求1所述的具有记忆功能的压力传感器，其特征在于，所述硫系化合物包括。

3.如权利要求1所述的具有记忆功能的压力传感器，其特征在于，所述相变层的厚度为1~20 nm。

4.如权利要求1所述的具有记忆功能的压力传感器，其特征在于，所述金属纳米颗粒的尺寸为10~100nm。

5.如权利要求1所述的具有记忆功能的压力传感器，其特征在于，所述第一电极和第二电极均由柔性导电材料制成。

6.如权利要求5所述的具有记忆功能的压力传感器，其特征在于，所述柔性导电材料包括金、银、铜、氮化钛、聚乙炔、聚吡咯、聚吲哚和聚苯胺中的一种或几种。

7.如权利要求1所述的具有记忆功能的压力传感器，其特征在于，所述绝缘层由柔性聚合物制成。

8.如权利要求1所述的具有记忆功能的压力传感器，其特征在于，所述绝缘层的厚度为10~1000nm。