[发明专利]一种球面元件介质折射率的测量装置及测量方法有效

专利信息
申请号: 202111072337.X 申请日: 2021-09-14
公开(公告)号: CN113514426B 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 苏州高视半导体技术有限公司
主分类号: G01N21/41 分类号: G01N21/41
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 代理人: 贺杰
地址: 215000 江苏省苏州市高新区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 球面 元件 介质 折射率 测量 装置 测量方法
【权利要求书】:

1.一种球面元件介质折射率的测量装置,包括光谱共焦传感器(11)及光谱仪(14),其特征在于,还包括调距机构,其中,所述光谱共焦传感器(11)包括白光点光源(S)、半透半反射镜(X)及色散物镜(L);所述半透半反射镜(X)和色散物镜(L)在白光点光源(S)和被测球面元件介质(13)之间沿光轴依次设置,所述半透半反射镜(X)靠近白光点光源(S),所述色散物镜(L)靠近被测球面元件介质(13)侧;所述调距机构驱使所述光谱共焦传感器(11)与被测球面元件介质(13)两者彼此靠近或远离以使得所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)的距离沿着光轴变化4次;所述光谱仪(14)与所述半透半反射镜(X)的反射面相对,用于检测在被测球面元件介质(13)上聚焦并反射回的单色光的波长;若被测球面元件介质(13)的上下两面均为球面,则将检测得到的5个不同波长代入公式:

中计算出被测球面元件介质(13)在5个波长下的折射率;若被测球面元件介质(13)与色散物镜(L)相对侧表面是平面,则将检测得到的5个不同波长代入公式:

中计算出被测球面元件介质(13)在5个波长下的折射率;定义:

球面元件介质的中心厚度为H;

被所述色散物镜(L)分解后的多条单色光由至少一个单色光子集构成,每个单色光子集包括一条上单色光与一条下单色光;每个单色光子集中的上单色光聚焦于被测球面元件介质(13)的上表面,每个单色光子集中的下单色光聚焦于被测球面元件介质(13)的下表面;

每个单色光子集中的下单色光的波长为λ;

每个单色光子集中的下单色光的入射角度为;

每个单色光子集中的上单色光与下单色光的焦点距离为;

其中,和是光谱共焦传感器(11)中色散物镜(L)的已知参数;是被测球面元件介质(13)与色散物镜(L)相对侧表面的曲率半径;

色散物镜(L)的边缘光线出射角度与波长的关系为:

色散物镜(L)的后截距与波长的关系为:

每个单色光子集中上单色光与下单色光的距离为:

定义:

所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离未变化时,上单色光的波长为λ1,下单色光的波长为λ2

所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第一次变化时,上单色光的波长为λ3,下单色光的波长为λ4

所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第二次变化时,上单色光的波长为λ5,下单色光的波长为λ6

所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第三次变化时,上单色光的波长为λ7,下单色光的波长为λ8

所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第三次变化时,上单色光的波长为λ9,下单色光的波长为λ10;则可获得各下单色光的入射角度,并有:

根据折射率的公式并且结合公式计算出被测球面元件介质(13)的折射率曲线;

其中,X1、X2、X3、X4为波长项系数,并有3.5≤X1≤4, 4.5≤X2≤5, 5.5≤X3≤6, 0.1≤X4≤0.5;A、B、C、D、E为待求解常数;

被测球面元件介质(13)的折射率曲线的波长范围为400~1100nm。

2.一种球面元件介质折射率的测量方法,其特征在于,包括以下步骤:

提供一测量装置,所述测量装置包括光谱共焦传感器(11)、光谱仪(14)及调距机构,其中,所述光谱共焦传感器(11)包括白光点光源(S)、半透半反射镜(X)及色散物镜(L);所述半透半反射镜(X)和色散物镜(L)在白光点光源(S)和被测球面元件介质(13)之间沿光轴依次设置,所述半透半反射镜(X)靠近白光点光源(S),所述色散物镜(L)靠近被测球面元件介质(13)侧;

所述调距机构驱使所述光谱共焦传感器(11)与被测球面元件介质(13)两者彼此靠近或远离以使得所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)的距离沿着光轴变化4次;

将所述光谱仪(14)与所述半透半反射镜(X)的反射面相对设置,所述光谱仪(14)用于检测在被测球面元件介质(13)上聚焦并反射回的单色光的波长;

若被测球面元件介质(13)的上下两面均为球面,则将检测得到的5个不同波长代入公式:

中计算出被测球面元件介质(13)在5个波长下的折射率;

若被测球面元件介质(13)与色散物镜(L)相对侧表面是平面,则将检测得到的5个不同波长代入公式:

中计算出被测球面元件介质(13)在5个波长下的折射率;定义:

球面元件介质的中心厚度为H;

被所述色散物镜(L)分解后的多条单色光由至少一个单色光子集构成,每个单色光子集包括一条上单色光与一条下单色光;每个单色光子集中的上单色光聚焦于被测球面元件介质(13)的上表面,每个单色光子集中的下单色光聚焦于被测球面元件介质(13)的下表面;

每个单色光子集中的下单色光的波长为λ;

每个单色光子集中的下单色光的入射角度为;

每个单色光子集中的上单色光与下单色光的焦点距离为;

其中,和是光谱共焦传感器(11)中色散物镜(L)的已知参数; 是被测球面元件介质(13)与色散物镜(L)相对侧表面的曲率半径;

色散物镜(L)的边缘光线出射角度与波长的关系为:

色散物镜(L)的后截距与波长的关系为:

每个单色光子集中上单色光与下单色光的距离为:

定义:

所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离未变化时,上单色光的波长为λ1,下单色光的波长为λ2

所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第一次变化时,上单色光的波长为λ3,下单色光的波长为λ4

所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第二次变化时,上单色光的波长为λ5,下单色光的波长为λ6

所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第三次变化时,上单色光的波长为λ7,下单色光的波长为λ8

所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第三次变化时,上单色光的波长为λ9,下单色光的波长为λ10;则可获得各下单色光的入射角度,并有:

根据折射率的公式并且结合公式计算出被测球面元件介质(13)的折射率曲线;

其中,X1、X2、X3、X4为波长项系数,并有3.5≤X1≤4, 4.5≤X2≤5, 5.5≤X3≤6, 0.1≤X4≤0.5;A、B、C、D、E为待求解常数;

被测球面元件介质(13)的折射率曲线的波长范围为400~1100nm。

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