[发明专利]一种球面元件介质折射率的测量装置及测量方法有效
申请号: | 202111072337.X | 申请日: | 2021-09-14 |
公开(公告)号: | CN113514426B | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 苏州高视半导体技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人: | 贺杰 |
地址: | 215000 江苏省苏州市高新区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 球面 元件 介质 折射率 测量 装置 测量方法 | ||
1.一种球面元件介质折射率的测量装置,包括光谱共焦传感器(11)及光谱仪(14),其特征在于,还包括调距机构,其中,所述光谱共焦传感器(11)包括白光点光源(S)、半透半反射镜(X)及色散物镜(L);所述半透半反射镜(X)和色散物镜(L)在白光点光源(S)和被测球面元件介质(13)之间沿光轴依次设置,所述半透半反射镜(X)靠近白光点光源(S),所述色散物镜(L)靠近被测球面元件介质(13)侧;所述调距机构驱使所述光谱共焦传感器(11)与被测球面元件介质(13)两者彼此靠近或远离以使得所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)的距离沿着光轴变化4次;所述光谱仪(14)与所述半透半反射镜(X)的反射面相对,用于检测在被测球面元件介质(13)上聚焦并反射回的单色光的波长;若被测球面元件介质(13)的上下两面均为球面,则将检测得到的5个不同波长代入公式:
中计算出被测球面元件介质(13)在5个波长下的折射率;若被测球面元件介质(13)与色散物镜(L)相对侧表面是平面,则将检测得到的5个不同波长代入公式:
中计算出被测球面元件介质(13)在5个波长下的折射率;定义:
球面元件介质的中心厚度为H;
被所述色散物镜(L)分解后的多条单色光由至少一个单色光子集构成,每个单色光子集包括一条上单色光与一条下单色光;每个单色光子集中的上单色光聚焦于被测球面元件介质(13)的上表面,每个单色光子集中的下单色光聚焦于被测球面元件介质(13)的下表面;
每个单色光子集中的下单色光的波长为λ;
每个单色光子集中的下单色光的入射角度为;
每个单色光子集中的上单色光与下单色光的焦点距离为;
其中,和是光谱共焦传感器(11)中色散物镜(L)的已知参数;是被测球面元件介质(13)与色散物镜(L)相对侧表面的曲率半径;
色散物镜(L)的边缘光线出射角度与波长的关系为:
,
色散物镜(L)的后截距与波长的关系为:
,
每个单色光子集中上单色光与下单色光的距离为:
;
定义:
所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离未变化时,上单色光的波长为λ1,下单色光的波长为λ2;
所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第一次变化时,上单色光的波长为λ3,下单色光的波长为λ4;
所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第二次变化时,上单色光的波长为λ5,下单色光的波长为λ6;
所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第三次变化时,上单色光的波长为λ7,下单色光的波长为λ8;
所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第三次变化时,上单色光的波长为λ9,下单色光的波长为λ10;则可获得各下单色光的入射角度,并有:
,
根据折射率的公式并且结合公式计算出被测球面元件介质(13)的折射率曲线;
其中,X1、X2、X3、X4为波长项系数,并有3.5≤X1≤4, 4.5≤X2≤5, 5.5≤X3≤6, 0.1≤X4≤0.5;A、B、C、D、E为待求解常数;
被测球面元件介质(13)的折射率曲线的波长范围为400~1100nm。
2.一种球面元件介质折射率的测量方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供一测量装置,所述测量装置包括光谱共焦传感器(11)、光谱仪(14)及调距机构,其中,所述光谱共焦传感器(11)包括白光点光源(S)、半透半反射镜(X)及色散物镜(L);所述半透半反射镜(X)和色散物镜(L)在白光点光源(S)和被测球面元件介质(13)之间沿光轴依次设置,所述半透半反射镜(X)靠近白光点光源(S),所述色散物镜(L)靠近被测球面元件介质(13)侧;
所述调距机构驱使所述光谱共焦传感器(11)与被测球面元件介质(13)两者彼此靠近或远离以使得所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)的距离沿着光轴变化4次;
将所述光谱仪(14)与所述半透半反射镜(X)的反射面相对设置,所述光谱仪(14)用于检测在被测球面元件介质(13)上聚焦并反射回的单色光的波长;
若被测球面元件介质(13)的上下两面均为球面,则将检测得到的5个不同波长代入公式:
中计算出被测球面元件介质(13)在5个波长下的折射率;
若被测球面元件介质(13)与色散物镜(L)相对侧表面是平面,则将检测得到的5个不同波长代入公式:
中计算出被测球面元件介质(13)在5个波长下的折射率;定义:
球面元件介质的中心厚度为H;
被所述色散物镜(L)分解后的多条单色光由至少一个单色光子集构成,每个单色光子集包括一条上单色光与一条下单色光;每个单色光子集中的上单色光聚焦于被测球面元件介质(13)的上表面,每个单色光子集中的下单色光聚焦于被测球面元件介质(13)的下表面;
每个单色光子集中的下单色光的波长为λ;
每个单色光子集中的下单色光的入射角度为;
每个单色光子集中的上单色光与下单色光的焦点距离为;
其中,和是光谱共焦传感器(11)中色散物镜(L)的已知参数; 是被测球面元件介质(13)与色散物镜(L)相对侧表面的曲率半径;
色散物镜(L)的边缘光线出射角度与波长的关系为:
,
色散物镜(L)的后截距与波长的关系为:
,
每个单色光子集中上单色光与下单色光的距离为:
;
定义:
所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离未变化时,上单色光的波长为λ1,下单色光的波长为λ2;
所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第一次变化时,上单色光的波长为λ3,下单色光的波长为λ4;
所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第二次变化时,上单色光的波长为λ5,下单色光的波长为λ6;
所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第三次变化时,上单色光的波长为λ7,下单色光的波长为λ8;
所述色散物镜(L)与被测球面元件介质(13)间的距离第三次变化时,上单色光的波长为λ9,下单色光的波长为λ10;则可获得各下单色光的入射角度,并有:
,
根据折射率的公式并且结合公式计算出被测球面元件介质(13)的折射率曲线;
其中,X1、X2、X3、X4为波长项系数,并有3.5≤X1≤4, 4.5≤X2≤5, 5.5≤X3≤6, 0.1≤X4≤0.5;A、B、C、D、E为待求解常数;
被测球面元件介质(13)的折射率曲线的波长范围为400~1100nm。
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