[发明专利]具有收容环境检测的基板收容装置

说明书

本发明揭露一种具有收容环境检测的基板收容装置，具有可拆卸地连接于一外盒的一检测装置，所述检测装置包含一感测部，其具有一感测端、一腔体及一感测器，所述感测部可拆卸地连接于所述外盒，使所述感测端暴露于所述外盒内侧的一容置空间，所述腔体延伸于所述外盒的一外侧和所述容置空间之间并容置所述感测器，所述腔体经由所述感测端通信连接所述外盒的容置空间，藉此让所述感测器读取关于所述容置空间的信息。

技术领域

本发明关于一种基板收容装置，特别是一种提供有内部收容环境检测手段的基板收容装置，以及收容环境检测手段连接至基板收容装置的方法。

背景技术

目前极紫外光(EUV)工艺中，所涉及的光掩膜需以专用的EUV光掩膜盒保护。图1显示一种用于容置所述EUV光掩膜的光掩膜盒，具有由一外盒100及一内盒110所定义而成的内层和外层容置空间。外盒100包含一盒盖101和一底座102，两者结合定义出容置该内盒110的一容置空间。内盒110包含一盒盖111和一底座112，其经由特殊的手段结合以定义出具密封效果的一容置空间来容置一光掩膜120。

在已知清洗处理中，容置有内盒110的外盒100被送进一清洗设备中处理，清洗的液体或气体被通入外盒100中的容置空间以清洗外盒100内部及内盒110的外部，最后通入一烘干气体至外盒100内进行烘干残留的液体和水气。若残留的水气附着在内盒110，有可能会影响光掩膜的洁净度。因此，所述清洗处理的容置环境监控变成重要的动作。当外盒100是收容的状态，即盒盖101和底座102相互结合，内部收容环境无法经由电子仪器进行量测而获得环境信息，像是湿度。纵使在外盒100内侧设置一感测器，清洗的液体或烘干的气体会增加带电感测器损坏的风险。当然，要求高洁净度的芯片收容装置也可能面临同样的问题。

有鉴于已知基板收容装置在清洗处理中的监控限制，有必要发展一种具有收容环境检测的基板收容装置，且可有效降低清洗气体或烘干气体所造成的损坏风险。

发明内容

本发明的目的在于提出一种基板收容装置，具有用于容置一内盒的一外盒及可拆卸地连接于该外盒的一检测装置，该内盒用于容置一基板，该检测装置包含：一感测部，具有一感测端、一腔体及一感测器，该感测部可拆卸地连接于该外盒，使该感测端暴露于该外盒内侧的一容置空间，该腔体延伸于该外盒的一外侧和该容置空间之间并容置该感测器，该腔体经由该感测端通信连接该外盒的容置空间，藉此让该感测器读取关于该容置空间的信息。

在一具体实施例中，该感测部的感测端具有一透气组件，使该感测部的腔体经由该透气组件与该外盒的容置空间通信连接。

在一具体实施例中，该感测部还具有一连接端，该连接端暴露于该外盒的外侧，且该连接端提供有与该感测器电性耦接的一第一连接器用于传输一感测信号。

在一具体实施例中，该第一连接器自该感测部的连接端向该外侧延伸。

在一具体实施例中，该感测部具有一外壳和一内壳，该外壳和该内壳彼此可拆卸地连接并定义该腔体，该外壳提供有暴露于该外盒外侧的该连接端，该内壳提供有暴露于该外盒容置空间的该感测端。

在一具体实施例中，该外壳的一内侧面与该内壳的一外侧面相连接，且该内壳延伸于该外盒的外侧和容置空间。

在一具体实施例中，该外壳的一外侧面与该内壳的一内侧面相连接，且该外壳延伸于该外盒的外侧和容置空间。

在一具体实施例中，该外壳与该内壳为相互转动地和拆卸地连接。

在一具体实施例中，该外壳和该内壳固定于该外盒的一壁上，且该壁被夹于该外壳和该内壳之间。

在一具体实施例中，该检测装置还包含：一配接部，具有一配接端及一壳体，该配接端自该壳体延伸且可拆卸地连接至该感测部的外壳，该壳体容置有一电路组件，该电路组件经由该配接端电性耦接该第一连接器。