[发明专利]一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置及其检测方法

权利要求书

1.一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置的检测方法，包括一种检测单晶硅棒长度和斜度的装置，包括底座（1），还包括：

滑动连接在所述底座（1）上的第一安装板（103）；

固定连接在所述第一安装板（103）侧壁的第二安装板（4），所述第二安装板（4）上开设有第二滑槽（401）；

通过安装座（502）滑动连接在所述第二滑槽（401）上的套筒（5）；

滑动连接在所述套筒（5）上的滑杆（501）；

固定连接在所述滑杆（501）输出端的安装箱（9）；

转动连接在所述安装箱（9）上的安装筒（6），所述安装筒（6）内转动连接有转轴（601），所述转轴（601）设有四根，且四根所述转轴（601）呈圆周分布在安装筒（6）内，四根所述转轴（601）上均固定连接有齿轮（602），所述安装筒（6）上滑动连接有齿条（603），所述齿条（603）与齿轮（602）相啮合，所述安装筒（6）上开设有与四根所述齿条（603）相对应的通孔（606）；

设置在所述安装筒（6）内的驱动部，用于驱动四根转轴（601）转动；

固定连接在四根所述齿条（603）上的四根安装杆（7）；

固定连接在所述安装筒（6）远离安装箱（9）一端的安装架（8），所述安装架（8）上固定连接有中心杆（801），

一根所述安装杆（7）上固定连接有第一安装块（702），所述第一安装块（702）上滑动连接有测量杆（703），所述测量杆（703）和中心杆（801）上均转动连接有连接轴（705），两根连接轴（705）上滑动有连杆（706），所述测量杆（703）与中心杆（801）上均固定连接有量角器（704），所述连接轴（705）上固定连接有标针（7051），所述标针（7051）与量角器（704）相贴；

设置在所述安装杆（7）上的激光测距仪（708），用于测量长度；

所述中心杆（801）和测量杆（703）上均设有摄像头（707）；

固定连接在所述底座（1）侧壁的一体机（2），所述激光测距仪（708）和摄像头（707）均与一体机（2）信号连接；

使四根安装杆（7）转动，对截面的斜度进行测量，摄像头（707）将标针（7051）标示的数据记录下来并反馈至一体机（2）内，通过一体机（2）查找所测量出的最大值，然后通过最大值减去测量杆（703）端点与中心杆（801）之间的初始角度得出斜度，以此确定截面的斜度；

所述驱动部包括第二电机（605），所述第二电机（605）固定连接在安装筒（6）内，所述第二电机（605）的驱动端固定连接有第一驱动轴（6051），所述第一驱动轴（6051）与四根所述转轴（601）通过链轮传动组（604）转动相连；

所述安装箱（9）内固定连接有第三电机（901），所述第三电机（901）的输出端固定连接有第二驱动轴（902），所述第二驱动轴（902）与安装筒（6）固定连接；

所述底座（1）内固定连接有第一电机（101），所述第一电机（101）的输出端固定连接有丝杆（102），所述第一安装板（103）上开设有与丝杆（102）相对应的螺纹孔；

所述底座（1）内开设有第一滑槽（105），所述第一安装板（103）上固定连接有滑块（104），所述滑块（104）滑动连接在第一滑槽（105）内，所述底座（1）上固定连接有安装台（3），所述安装台（3）的顶部固定连接有放置台（301），所述放置台（301）的顶部固定连接有弹性伸缩杆（302），所述弹性伸缩杆（302）的输出端固定连接有圆球（303）；

其特征在于，采用以下步骤：

步骤一：将单晶硅棒放置在放置台（301）上，单晶硅棒使弹性伸缩杆（302）收缩，利用多余的弹性伸缩杆（302）对单晶硅棒进行固定；

步骤二：使四根安装杆（7）之间的间距分离到最大值；

步骤三，使八根安装杆（7）向单晶硅棒移动，使单晶硅棒的两端分别插入由八根安装杆（7）组成的两个内环中；

步骤四：启动第二电机（605），第二电机（605）使四根安装杆（7）同时向单晶硅棒移动，使四根安装杆（7）将单晶硅棒夹住，从而使中心杆（801）的轴心与单晶硅棒的轴心处于同一轴线；

步骤五：使两根中心杆（801）上的滚珠（701）分别与单晶硅棒两端的轴心相抵，使测量杆（703）上的滚珠（701）与单晶硅棒的端面相抵，启动第三电机（901），第三电机（901）使安装筒（6）转动，安装筒（6）使四根安装杆（7）转动，对截面的斜度进行测量，摄像头（707）将标针（7051）标示的数据记录下来并反馈至一体机（2）内，通过一体机（2）查找所测量出的最大值，然后通过最大值减去测量杆（703）端点与中心杆（801）之间的初始角度得出斜度，以此确定截面的斜度；

步骤六：两根中心杆（801）与单晶硅棒的中心相抵，激光测距仪（708）对单晶硅棒的长度进行测量，测量出的数据存入一体机（2）中。