[发明专利]一种用于高纯特种气体包装物的内壁处理方法及用于高纯特种气体的包装物

说明书

本发明公开了一种用于高纯特种气体包装物的内壁处理方法及用于高纯特种气体的包装物。本发明通过对气瓶进行清理、喷砂、喷涂前处理、底漆喷涂、中漆喷涂、面漆喷涂、多次喷涂、烧结后,清洗、烘干等步骤后获得可用于高纯特种气体包装物。本发明具有工艺流程简单，易实现流程控制和工业化；所获得的包装物具有优良的内部环境稳定性，可以应用于Cl₂、HCl、HF、F₂或F₂/N₂混合气等腐蚀性的高纯特种气体的包装，提高了上述高纯特种气体在包装物的质量稳定性；所获得的包装物具有优良的耐腐蚀性，应用于Cl₂、HCl、HF、F₂或F₂/N₂混合气等腐蚀性高纯特种气体的包装，提高了上述高纯特种气体在包装物的使用期限。

本申请是申请日为2018年09月16日、申请号为201811078172.5、发明名称为《一种用于高纯特种气体包装物的内壁处理方法》的分案申请。

技术领域

本发明涉及高纯特种气体包装物的处理方法，更具体的说，涉及一种用于具有强腐蚀性的Cl₂、HCl、HF、F₂或F₂/N₂混合气等高纯特种气体包装物的内壁处理方法及用于高纯特种气体的包装物。

背景技术

Cl₂、HCl、HF、F₂或F₂/N₂混合气等气体因具有毒性、在水的存在下对金属具有很高的腐蚀性等特点，属于特种气体类别。高纯Cl₂、HCl、HF、F₂或F₂/N₂混合气是目前集成电路、LCD或LED等半导体领域制造中蚀刻和清洗的不可或缺的关键气体。高纯气体的包装物即气瓶成为满足上述气体在集成电路、LCD或LED等半导体领域中使用的品质稳定性的最后的保证，高纯气体的包装物成为了高纯特种气体制造领域的不可或缺的产品。

目前所使用的高纯特种气体包装物采用钢制气瓶为主要包装形式。为满足高纯气体的包装、运输和产品品质，国内外对气瓶进行不同工艺的处理，包括内表面抛光后气体钝化处理方法、内表面电镀处理方法，其根本目的是使表面粗糙度降低，以此来降低内表面的吸水性，降低高纯气体充装后的水分及气体其他组分超标的风险。

发明专利201610554330.4公开了一种超高纯砷化氢、磷化氢及其混合物气体钢瓶的钝化处理工艺。包括以下步骤：将待钝化处理的第一钢瓶进行100-200℃高温加热烘烤；通过抽风机对第一钢瓶进行抽真空处理，并持续对第一钢瓶进行100-200℃高温加热烘烤处理，当第一钢瓶抽至真空状态时，吹扫置换；通过抽风机再对第一钢瓶进行抽真空处理，并持续对第一钢瓶进行100-200℃高温加热烘烤处理，当第一钢瓶抽至真空状态时，壁钝化；通过气体回抽装置对第一钢瓶进行抽真空处理，并将抽取的砷化氢、磷化氢气体回收至回收气体钢瓶。本发明提出了一种高纯气体纯化处理工艺，但并未涉及到Cl₂、HCl、HF、F₂或F₂/N₂混合气等高纯特种气体的包装物的处理，并不能解决上述高纯特种气体的包装物目前面临的问题。