[发明专利]一种新型DSP卡盘装置及其装配、检测方法在审

专利信息
申请号: 202111083524.8 申请日: 2021-09-15
公开(公告)号: CN113889430A 公开(公告)日: 2022-01-04
发明(设计)人: 金太薰 申请(专利权)人: 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;G01D11/00
代理公司: 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 代理人: 沈相权
地址: 311201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 dsp 卡盘 装置 及其 装配 检测 方法
【说明书】:

发明公开了一种新型DSP卡盘装置及其装配、检测方法,包括底座,所述底座的上端设置有卡盘,所述底座的内腔设置有齿盘,所述齿盘的外侧通过传动机构设置有导向块,所述导向块的上端传动连接有滑动板,所述滑动板的上端设置有夹持块,所述底座的底端设置有连接件,所述滑动板的内部设置有夹持机构;本发明涉及卡盘技术领域。该一种新型DSP卡盘装置及其装配、检测方法,通过设置的夹持机构,使得夹持板对芯片进行更加精确的夹持定位处理,同时第一弹簧与第二弹簧对运动过程中的夹持板进行缓冲减震处理,防止夹持板夹持力度过大,导致芯片出现碎裂而损坏芯片;通过设置的连接轴、夹持板与螺钉,便于更换不同规格的夹持板,增强装置的实用性。

技术领域

本发明涉及卡盘技术领域,具体为一种新型DSP卡盘装置及其装配、检测方法。

背景技术

数字信号处理器(DSP),具有浮点型数据计算的函数库,实现了定点处理器上进行浮点运算,该芯片在内部集成128闪存,方便了其在软件升级或简单开发时程序的简单调试,片上具有串行通信和CAN通讯标准通信接口方便了与上位机和一些测量设备的数据传送,在伺服驱动、通讯和汽车工业等领域有广泛的应用,显示模块可以便于人们对断路器所处状态的了解,使人们更加方便快捷的知道断路器的相关信息。

数字信号处理器(DSP)生产加工时,对芯片的支撑、夹持,芯片的尺寸越来越小,支撑或者加持过程中可接触的芯片区域也逐渐变小,因此在进行工艺时对芯片生产加工的均匀性、夹持的精度等方面的要求非常高,同时还要保证方便装卡、拆卸,有足够的操作空间等等,这些因素使得对芯片的承载、固定变得极其困难,在芯片生产加工时,由于芯片厚度薄,因此在大部分处理过程中需要使用卡盘装置固定,但现有的技术中卡盘装置结构复杂,装夹及拆卸不便,在对芯片进行定位固定的过程中,容易出现夹持力度过大,导致芯片出现碎裂而损坏芯片。

发明内容

针对现有技术的不足,本发明提供了一种新型DSP卡盘装置及其装配、检测方法,解决了现有的DSP卡盘装置,在使用时卡盘装置结构复杂,装夹及拆卸不便,在对芯片进行定位固定的过程中,容易出现夹持力度过大,导致芯片出现碎裂而损坏芯片的问题。

为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种新型DSP卡盘装置,包括底座,所述底座的上端设置有卡盘,所述底座的内腔设置有齿盘,所述齿盘的外侧通过传动机构设置有导向块,所述导向块的上端传动连接有滑动板,所述滑动板的上端设置有夹持块,所述底座的底端设置有连接件,所述滑动板的内部设置有夹持机构;所述传动机构包括在导向块的内侧表面固定连接的齿条,所述齿条与齿盘的外侧端相互啮合,所述导向块的顶部开设有滑槽,所述滑动板的底端固定连接有滑块,所述滑块位于滑槽内与导向块滑动连接;所述夹持机构包括在滑动板内部开设的导向槽,所述导向槽的一端内壁固定连接有定位柱,所述定位柱的外壁上滑动连接有卡接柱,所述定位柱与卡接柱的连接处设置有缓冲槽,所述缓冲槽内固定连接有第一弹簧,且第一弹簧套接在定位柱的外表面,所述定位柱的另一端开设有抵制槽,所述抵制槽内固定连接有第二弹簧,所述第二弹簧的另一端固定连接有推动块,且推动块的直径与抵制槽的直径大小相互适配,所述推动块的上下两端设置有滑动面,且滑动面由高到底,所述推动块的滑动面上滑动连接有限位块,所述限位块的一端与定位柱的一端相互抵触,所述推动块的上下端固定设置有定位块,且定位块的一端与导向槽内壁固定连接,所述定位块的另一端与限位块的另一端滑动连接,所述推动块的另一端固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆位于滑动板内腔且与滑动板螺纹连接,所述螺纹杆的另一端贯穿滑动板并固定安装有调节头,所述卡接柱的外壁设置有卡接块,且通过卡接块与夹持块的底端卡接固定。

优选的,所述卡盘的内部开设有滑动槽,所述导向块位于滑动槽内与卡盘滑动连接,所述滑动槽的长度大于导向块的长度。

优选的,所述滑动槽的两端开设有定位槽,所述导向杆的两端位于定位槽内,且通过定位轴定位转动。

优选的,所述齿盘的底端固定连接有中间座,所述齿盘与中间座转动安装在底座的内腔。

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