[发明专利]一种三级火焰VAD工艺沉积喷灯

权利要求书

1.一种三级火焰VAD工艺沉积喷灯，包括有喷灯体，喷灯体沿周向设置中心供料孔和围绕中心供料孔的多层环形气孔，其特征在于所述的多层环形气孔均为火焰环形气孔，且从内向外依次包括内层火焰环形气孔、中层火焰环形气孔和外层火焰环形气孔，所述喷灯体的喷口端面由内向外呈三级轴向递增内凹状，其中内层火焰环形气孔喷口位于喷口端面的最内面，与中心供料孔喷口齐平，中层火焰环形气孔喷口位于喷口端面的次内面，外层火焰环形气孔喷口位于喷口端面的最外面，所述的火焰环形气孔包括有氧气环形气孔和氢气环形气孔。

2.按权利要求1所述的三级火焰VAD工艺沉积喷灯，其特征在于所述的喷灯体由钛合金制成。

3.按权利要求1或2所述的三级火焰VAD工艺沉积喷灯，其特征在于所述内层火焰环形气孔最外层的外圈高度与喷口端面的次内面齐平，且外圈内面镶嵌有内陶瓷内圈，构成喷灯的第一级火焰燃烧混合腔，所述中层火焰环形气孔最外层的外圈高度与喷口端面的最外面齐平，且外圈内面镶嵌有外陶瓷内圈，构成喷灯的第二级火焰燃烧混合腔，所述外层火焰环形气孔各层的端面高度与喷口端面的最外面齐平，构成喷灯的第三级火焰燃烧混合区。

4.按权利要求1或2所述的三级火焰VAD工艺沉积喷灯，其特征在于所述的火焰环形气孔内设置有弧形挡块，构成栅格状火焰环形气孔，所述的火焰环形气孔部分或全部设置为栅格状火焰环形气孔。

5.按权利要求4所述的三级火焰VAD工艺沉积喷灯，其特征在于所述的弧形挡块设置3～6块，在环形气孔中对应于进气孔沿周向间隔设置。

6.按权利要求3所述的三级火焰VAD工艺沉积喷灯，其特征在于所述的内层火焰环形气孔包括设置在内的1～2层内层氧气环形气孔和设置在外的1～2层内层氢气环形气孔。

7.按权利要求6所述的三级火焰VAD工艺沉积喷灯，其特征在于所述的中层火焰环形气孔包括设置在内的1～2层中层氢气环形气孔和设置在外的0～1层中层氧气环形气孔。

8.按权利要求7所述的三级火焰VAD工艺沉积喷灯，其特征在于所述的外层火焰环形气孔包括设置在内的0～1层外层氢气环形气孔和设置在外的1～3层外层氧气环形气孔。

9.按权利要求1或2所述的三级火焰VAD工艺沉积喷灯，其特征在于所述的火焰环形气孔为同心圆环形气孔，所述的圆环形气孔的径向单边宽度为1～3mm，每层火焰环形气孔的前端为喷口，后端封闭。

10.按权利要求8所述的三级火焰VAD工艺沉积喷灯，其特征在于所述的氧气环形气孔氧气流量为10～20slm，氢气环形气孔氢气流量为30～50slm；所述的喷灯体后端呈外凸台阶状，所述的火焰环形气孔外圈由外向内沿轴向逐层递增，每层火焰环形气孔外圈后端一侧设置有与环形气孔相联通的进气孔。