[发明专利]基板处理装置及对准方法

说明书

本发明提供一种使用按照各输送路径进行了分组化的移动信息，在对准前能够事先对基板进行移动控制，从而能更有效地进行对准的基板处理装置及对准方法，所述各输送路径由于前处理室的差异或输送机器人的机械手的差异等而不同。基板处理装置具备用于对基板实施处理的多个处理室、分别设置于所述多个处理室的基板载置部、以及向所述基板载置部输送所述基板的输送机构，其中，所述基板处理装置具备：具有按照各输送路径进行了分组化的移动信息的存储机构；以及基于所述移动信息对所述基板进行移动控制的控制机构。

本申请是申请日为2017年7月7日、申请号为201710549222.2、发明创造名称为“基板处理装置及对准方法”的分案申请。

技术领域

本发明涉及基板处理装置及对准方法。

背景技术

专利文献1公开了进行基板与掩模的对准的对准方法。在该专利文献1中，预先记录有根据使用光学机构取得的基板及掩模的各对准标记的相对距离而算出的算出移动量与实际移动量的差异数据，在第二次以后的对准中，基于所述差异数据预先对所述算出移动量进行补正并使基板移动，从而迅速地进行对准。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2009-277655号公报

发明内容

【发明要解决的课题】

然而，上述专利文献1虽然记载了基板及掩模的对准标记进入光学机构即相机的摄像范围时的处理，但是没有记载对准标记未进入相机的摄像范围时的处理。

但在实际中存在被输送到处理室的基板的对准标记未进入相机的摄像范围的情况。这种情况下，在进行对准之前，需要进行基板的位置调整以使对准标记进入摄像范围的对准前的位置调整工序。

鉴于以上的现状，发明者们进行了各种研讨，得到了如下的见解。

即，基板的对准标记未进入相机的摄像范围的原因是，当基板的输送路径不同时，基板被送入处理室时的位置(送入时位置)发生改变的缘故。具体而言，在刚刚之前被输送了基板的前一处理室(前处理室)不同、或者虽然前处理室相同但是基板台(基板载置部)不同的情况下，前处理室中的处理后的基板位置不同，因此即便是向相同处理室输送的基板，送入时位置也会不同。

图1示出在所谓群集型的成膜装置中，使用同一机械手输送基板时，经由处理室A-B-C’时的基板的路径X、及经由处理室A’-B-C时的基板的路径X’的例子。这样，以X、X’两路径通过的基板在处理室B中的送入时的位置由于前处理室不同而变得不同。图1中，符号D、E是输送室，F是送入部，G、H是基板输送用机器人的机械手。

另外，通常在送入部F设有多个输送用机器人的机械手G、H，但是由于各机械手存在各自动作的习惯，因此在使用不同的机械手输送基板时，基板在各处理室中的输送时位置不同。

本发明基于上述的见解而完成，其目的在于提供一种基板处理装置及对准方法，其使用按照各输送路径进行了分组化的移动信息，能够在对准前事先对基板进行移动控制，从而能更有效地进行对准，其中，所述各输送路径由于前处理室的差异或输送机器人的机械手的差异等而不同。

另外，在本发明中，将在刚刚之前被输送了基板的其他的处理室的基板载置部和输送所使用的输送机构一并称为“输送路径”。

【用于解决课题的方案】

一种基板处理装置，所述基板处理装置具备用于对基板实施处理的多个处理室、分别设置于所述多个处理室的基板载置部、以及向所述基板载置部输送所述基板的输送机构，其特征在于，所述基板处理装置具备：具有按照各输送路径进行了分组化的移动信息的存储机构；以及基于所述移动信息对所述基板进行移动控制的控制机构。

【发明效果】