[发明专利]用于拾取晶圆的机械手

说明书

本申请提供了一种用于拾取晶圆的机械手。该机械手包括：机械手臂；以及至少一个吸盘装置，所述至少一个吸盘装置设置在所述机械手臂上，每个所述吸盘装置包括：第一吸盘；以及弹性支撑体，所述弹性支撑体的至少部分位于所述第一吸盘和所述机械手臂之间，所述弹性支撑体包括第一端和第二端，相比于所述弹性支撑体的第二端，所述弹性支撑体的第一端更靠近所述机械手臂，所述弹性支撑体的第二端与所述第一吸盘连接，所述弹性支撑体被配置为支撑所述第一吸盘。

技术领域

本申请涉及半导体加工领域，更具体的，涉及一种用于拾取晶圆的机械手。

背景技术

在半导体加工领域，经常需要在不同的工位间转移晶圆。例如物料架、加工设备或检测设备之间等。

现有的真空吸附式机械手，通常设计有三个真空吸盘。平整的晶圆贴附在真空吸盘处后，被真空吸盘吸住进而随真空吸附式机械手移动。人们期望晶圆在移动的过程中安全、稳定。

发明内容

本申请的实施例提供了一种用于拾取晶圆的机械手，该机械手包括：机械手臂；以及至少一个吸盘装置，所述至少一个吸盘装置设置在所述机械手臂上，每个所述吸盘装置包括：第一吸盘；以及弹性支撑体，所述弹性支撑体的至少部分位于所述第一吸盘和所述机械手臂之间，所述弹性支撑体包括第一端和第二端，相比于所述弹性支撑体的第二端，所述弹性支撑体的第一端更靠近所述机械手臂，所述弹性支撑体的第二端与所述第一吸盘连接，所述弹性支撑体被配置为支撑所述第一吸盘。

在一个实施方式中，所述第一吸盘包括背离所述机械手臂的吸附面和连通至所述吸附面外侧的第一开口；以及其中，所述吸盘装置还包括柔性套，所述柔性套的至少部分位于所述第一吸盘的本体和所述机械手臂的本体之间，且所述柔性套与所述第一吸盘密封连接，所述柔性套与所述第一吸盘共同用于围成中空腔体且所述第一开口与所述中空腔体连通。

在一个实施方式中，所述弹性支撑体位于所述中空腔体中。

在一个实施方式中，所述弹性支撑体包括弹簧，所述弹簧位于所述第一吸盘的本体和所述机械手臂的本体之间。

在一个实施方式中，所述第一吸盘的吸附面的硬度大于所述柔性套的硬度。

在一个实施方式中，所述机械手臂包括真空管路；以及其中，所述第一开口经由所述中空腔体与所述真空管路连通。

在一个实施方式中，所述机械手臂包括至少一个凹槽和至少一个吸附口；所述凹槽凹设于所述机械手臂的正面，用于收容所述吸盘装置的一部分且至少所述吸附面凸出于所述凹槽；所述至少一个吸附口分别位于所述至少一个凹槽的内表面并与所述真空管路连通。

在一个实施方式中，所述弹性支撑体不完全覆盖所述第一开口以及所述吸附口，以使所述吸附口通过所述第一开口而与所述真空管路连通。

在一个实施方式中，所述柔性套与所述凹槽的底部密封连接，所述柔性套、所述第一吸盘以及所述凹槽的底部围成所述中空腔体。

在一个实施方式中，每个所述吸盘装置还包括第二吸盘，所述第二吸盘的至少部分位于所述凹槽中，所述柔性套与所述第二吸盘密封连接，所述柔性套、所述第一吸盘以及所述第二吸盘围成所述中空腔体。

在一个实施方式中，所述第二吸盘具有第二开口，且所述第二开口与所述吸附口连通。

在一个实施方式中，所述机械手臂包括至少一个与所述真空管路连通的开孔；每个所述吸盘装置还包括第二吸盘，所述柔性套与所述第二吸盘密封连接，所述柔性套、所述第一吸盘以及所述第二吸盘围成中空腔体，以及其中，所述第二吸盘的至少部分固定设置或者可拆卸设置在所述开孔。

在一个实施方式中，所述吸盘装置还包括：压力传感器，压力传感器设置于所述弹性支撑体与所述机械手臂之间，用于测量所述弹性支撑体传递的压力。

在一个实施方式中，所述机械手包括至少三个所述吸盘装置。