[发明专利]一种晶圆转移系统以及方法

权利要求书

1.一种晶圆转移系统，其特征在于，包括：

晶圆盒取放单元，所述晶圆盒取放单元包括装载台一，所述装载台一用于接收并承载晶圆盒；

开盒单元，所述开盒单元包括晶圆盒开关器和夹持机构，所述晶圆盒开关器用于承载和开闭所述晶圆盒，所述夹持机构用于夹持并提升位于所述晶圆盒开关器上的所述晶圆盒；

晶圆盒转移机械手，所述晶圆盒转移机械手用于在所述晶圆盒取放单元和所述开盒单元之间转移所述晶圆盒；

其中，所述夹持机构包括：

夹持安装座；

设置于所述夹持安装座上的顶爪；

至少两相对设置的下爪，所述下爪沿所述顶爪周向设置，所述下爪包括用于与晶圆盒连接头的底面相抵靠的倾斜抵靠面，且其向靠近所述顶爪中心的方向逐渐降低，所述抵靠面距离顶爪所在平面的最小距离与所述连接头的厚度相适配；以及，

设置于所述夹持安装座上的驱动件二，所述驱动件二用于驱动至少两相对设置的所述下爪向所述顶爪的中心方向移动，以将所述晶圆盒顶端的连接头夹持于所述下爪和所述顶爪之间。

2.根据权利要求1所述的晶圆转移系统，其特征在于，所述晶圆盒开关器包括用于承载所述晶圆盒的装载台二和用于开闭所述晶圆盒的开盒机构，所述装载台二上设置有承载板二以及承载板二驱动机构，所述承载板二用于承载所述晶圆盒，所述承载板二开设有避让槽二，所述避让槽二由所述承载板二背离所述开盒机构的一侧向内延伸，且所述避让槽二贯穿所述承载板二的厚度方向，所述承载板二驱动机构用于驱动所述承载板二位于开盒位置以靠近所述开盒机构，或位于避让位置以远离所述开盒机构，并且所述夹持机构位于所述避让位置的正上方。

3.根据权利要求1所述的晶圆转移系统，其特征在于，所述下爪和所述顶爪上设置有与所述连接头的凹口相适配的触压式传感器；所述触压式传感器设置于所述下爪的内侧，并位于所述抵靠面的上方，以朝向所述连接头的凹口。

4.根据权利要求1所述的晶圆转移系统，其特征在于，所述驱动件二为滑轨型平行机械爪，所述驱动件二的两滑块分别连接两相对设置的所述下爪。

5.根据权利要求1所述的晶圆转移系统，其特征在于，还包括多个存储板，所述存储板开设有避让槽三，所述避让槽三由所述存储板的自由侧向内延伸，且所述避让槽三贯穿所述存储板的厚度方向，所述晶圆盒转移机械手用于将所述夹持机构上的所述晶圆盒转移至所述存储板上。

6.根据权利要求1所述的晶圆转移系统，其特征在于，还包括晶圆翻转单元和晶圆转移单元，所述晶圆翻转单元用于将晶圆在水平状态和垂直状态之间转换，所述晶圆转移单元用于在所述开盒单元和所述晶圆翻转单元之间转移水平状态的所述晶圆；其中，所述晶圆翻转单元包括晶圆固定机构，所述晶圆固定机构包括：

水平支撑机构，所述水平支撑机构包括两个相对设置的支撑梳柱，以配合支撑水平状态的晶圆，且两所述支撑梳柱之间形成供所述晶圆进出的通道；

周向夹持机构，所述周向夹持机构包括分设于所述通道两端的至少两个夹持梳柱，至少两个所述夹持梳柱与所述支撑梳柱相配合，以夹持位于所述支撑梳柱上的所述晶圆。

7.根据权利要求6所述的晶圆转移系统，其特征在于，所述周向夹持机构包括分设于所述通道两端的两个夹持梳柱，且两个所述夹持梳柱的中心位置与两个所述支撑梳柱的中心位置相适配；或，

所述周向夹持机构包括分设于所述通道两端的至少三个夹持梳柱，且至少三个所述夹持梳柱所形成的封闭图形的外接圆的圆心位置与两个所述支撑梳柱的中心位置相适配；或，

所述周向夹持机构包括两两分设于所述通道两端的四个夹持梳柱，四个所述夹持梳柱所形成的封闭图形的外接圆的圆心位置与两个所述支撑梳柱的中心位置重合。

8.根据权利要求6所述的晶圆转移系统，其特征在于，所述支撑梳柱包括多个支撑板，多个所述支撑板沿垂直于水平面的方向依次间隔层叠设置，以水平支撑多片所述晶圆；所述夹持梳柱包括多片夹持板，所述夹持板与对应所述支撑板相配合，以接触对应所述支撑板上的所述晶圆边缘。