[发明专利]晶圆固定机构、具有该机构的晶圆翻转装置以及系统

权利要求书

1.一种晶圆固定机构，其特征在于，包括：

水平支撑机构，所述水平支撑机构包括两个相对设置的支撑梳柱(610)，以配合支撑水平状态的晶圆(1)，且两所述支撑梳柱(610)之间形成供所述晶圆(1)进出的通道；

周向夹持机构，所述周向夹持机构包括分设于所述通道两端的至少两个夹持梳柱(620)，至少两个所述夹持梳柱(620)与所述支撑梳柱(610)相配合，以夹持位于所述支撑梳柱(610)上的所述晶圆(1)，所述周向夹持机构还包括缓冲组件，所述缓冲组件用于限制所述夹持梳柱(620)与所述晶圆(1)脱离。

2.根据权利要求1所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述周向夹持机构包括分设于所述通道两端的两个夹持梳柱(620)，且两个所述夹持梳柱(620)的中心位置与两个所述支撑梳柱(610)的中心位置相适配。

3.根据权利要求1所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述周向夹持机构包括分设于所述通道两端的至少三个夹持梳柱(620)，且至少三个所述夹持梳柱(620)所形成的封闭图形的外接圆的圆心位置与两个所述支撑梳柱(610)的中心位置相适配。

4.根据权利要求1所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述周向夹持机构包括两两分设于所述通道两端的四个夹持梳柱(620)，四个所述夹持梳柱(620)所形成的封闭图形的外接圆的圆心位置与两个所述支撑梳柱(610)的中心位置重合。

5.根据权利要求1所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述支撑梳柱(610)包括多个支撑板(613)，多个所述支撑板(613)沿垂直于水平面的方向依次间隔层叠设置，以水平支撑多片所述晶圆(1)。

6.根据权利要求1所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述夹持梳柱(620)能够转动，以带动所述夹持板(621)远离并避让进出所述通道的晶圆(1)，或靠近并相互配合夹持位于所述支撑梳柱(610)上的晶圆(1)。

7.根据权利要求4所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述周向夹持机构还包括两个驱动组件二，所述驱动组件二用于驱动位于所述通道同一端的两个所述夹持梳柱(620)转动。

8.根据权利要求5所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述夹持梳柱(620)包括多片夹持板(621)，所述夹持板(621)与对应所述支撑板(613)相配合，以接触对应所述支撑板(613)上的所述晶圆(1)边缘。

9.根据权利要求5所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述支撑板(613)包括用于支撑所述晶圆(1)的支撑面，且所述支撑面向所述通道的底面倾斜。

10.根据权利要求5所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述支撑梳柱(610)还包括沿所述通道的高度方向设置的转轴(611)，多个所述支撑板(613)与所述转轴(611)连接，以在所述转轴(611)的旋转带动下靠近并支撑所述晶圆(1)，或远离并避让所述晶圆(1)。

11.根据权利要求6所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述缓冲组件设置于所述夹持梳柱(620)远离所述晶圆(1)的旋转轨迹上，以用于限制所述夹持梳柱(620)与所述晶圆(1)脱离。

12.根据权利要求7所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述驱动组件二包括驱动件、与所述驱动件的执行端连接的连杆(622)和两个传动件(623)，所述连杆(622)的两端分别设置有腰型孔(6221)，所述传动件(623)的一端与所述夹持梳柱(620)的一端固定，另一端伸入对应所述腰型孔(6221)内并能够沿所述腰型孔(6221)滑动，以带动对应所述夹持梳柱(620)旋转。

13.根据权利要求8所述的晶圆固定机构，其特征在于，所述夹持板(621)的端头设置有与所述晶圆(1)的厚度相配合的V型槽(6211)。