[发明专利]探针台

权利要求书

1.一种探针台，其包括：

卡盘，所述卡盘被构造成支撑基板；

探针卡，所述探针卡设置在所述卡盘的上方并且被构造成对形成在所述基板上的半导体器件进行电测试；

相机单元，所述相机单元设置在所述卡盘的上方并且被构造成对所述基板进行成像；以及

相机驱动部件，所述相机驱动部件被构造成在水平方向上移动所述相机单元，

其中所述相机驱动部件包括制动单元，所述制动单元用于使用涡流制动力使所述相机单元停止在预定位置处。

2.根据权利要求1所述的探针台，其中所述相机驱动部件还包括：

驱动单元，其用于在所述水平方向上移动所述相机单元；以及

可移动构件，其被构造成可由所述驱动单元在所述水平方向上移动，并且所述相机单元安装在所述可移动构件上。

3.根据权利要求2所述的探针台，其还包括：

柱，所述驱动单元的两个侧部安装在所述柱上。

4.根据权利要求3所述的探针台，其中所述制动单元包括：

制动板，其安装在所述可移动构件上并且由导电材料制成；以及

磁场生成单元，其安装在所述柱中的一个上并且被构造成生成磁场，

其中所述制动板和所述磁场生成单元被布置成使得当所述可移动构件移动到靠近所述柱中的一个的位置时，由所述磁场生成所述涡流制动力。

5.根据权利要求4所述的探针台，其中所述磁场生成单元包括安装在所述柱中的一个的侧表面上的多个永磁体。

6.一种探针台，其包括：

卡盘，所述卡盘被构造成支撑基板；

探针卡，所述探针卡设置在所述卡盘的上方并且被构造成对形成在所述基板上的半导体器件进行电测试；

顶板，所述探针卡安装在所述顶板上；

多个支撑柱，所述支撑柱被构造成支撑所述顶板；

相机单元，所述相机单元设置在所述卡盘和所述顶板之间并且被构造成对所述基板进行成像；

相机驱动部件，所述相机驱动部件被构造成在水平方向上移动所述相机单元；以及

中间柱，所述中间柱设置在所述支撑柱之间，

其中所述相机驱动部件安装在所述支撑柱中的一个和所述中间柱上并且包括制动单元，所述制动单元用于使用涡流制动力使所述相机单元停止在预定位置处。

7.根据权利要求6所述的探针台，其中所述相机驱动部件还包括：

驱动单元，其用于在所述水平方向上移动所述相机单元；以及

可移动构件，其被构造成可由所述驱动单元在所述水平方向上移动，并且所述相机单元安装在所述可移动构件上，

其中所述驱动单元的两个侧部分别安装在所述支撑柱中的一个和所述中间柱上。

8.根据权利要求7所述的探针台，其中所述制动单元包括：

制动板，其安装在所述可移动构件上并且由导电材料制成；以及

磁场生成单元，其安装在所述中间柱上并且被构造成生成磁场，

其中所述制动板和所述磁场生成单元被布置成使得当所述可移动构件移动到靠近所述中间柱的位置时，由所述磁场生成所述涡流制动力。

9.根据权利要求8所述的探针台，其中所述磁场生成单元包括安装在所述中间柱的侧表面上的多个永磁体。

10.根据权利要求9所述的探针台，其中所述永磁体被布置成使得极性在所述水平方向上交替。

11.根据权利要求8所述的探针台，其中所述磁场生成单元包括：

安装在所述中间柱的侧表面上的多个第一永磁体；以及

设置成面对所述第一永磁体的多个第二永磁体，

其中所述制动板安装在所述可移动构件上，以便能通过所述驱动单元在所述第一永磁体和所述第二永磁体之间移动。