[发明专利]一种适用于电子级氨气与氨水的生产装置及其生产方法

说明书

本发明公开了一种适用于电子级氨气与氨水的生产装置及其生产方法，涉及化工技术领域，包括依次连通的蒸发器、气液分离器、吸附装置、第一精馏装置、第二精馏装置、第一洗涤装置、第二洗涤装置、吸收装置和过滤装置；其中，第一精馏装置和第二精馏装置之间设有热耦合装置，第二精馏装置具有塔顶出气口、第一进口和第二进口，热耦合装置具有液氨进口、热气进口、热气出口和液氨出口，液氨出口与第一进口相连通，第一精馏装置与第二进口相连通，塔顶出气口分别与热气进口、第一洗涤装置和氨气储存装置相连通。本申请中的生产装置可以同时适用于电子级氨气与电子级氨水的生产，且提高了能耗利用率，进而降低了生产成本。

技术领域

本发明涉及化工技术领域，具体涉及一种适用于电子级氨气与氨水的生产装置及其生产方法。

背景技术

随着半导体行业的发展，对湿电子化学品的微量金属杂质含量、颗粒粒径和数量、阴离子杂质含量等方面要求越来越严，市场越来越需要更加超纯的电子级化学品及气体。目前，电子级氨气与电子级氨水是半导体行业常用的主要超纯化学材料，在集成电路、LCD等制造行业中有着重要作用，其中，电子级氨气主要用于芯片的清洗、蚀刻、掺杂和沉淀工艺，电子级氨水在集成电路行业中主要利用其弱碱性去除硅晶圆表面附着的颗粒和有机物，对于硅、钴金属离子常用其与双氧水的混合液进行蚀刻；即电子级氨水广泛应用于在芯片的清洗及蚀刻工艺。然而，电子级氨气与电子级氨水的制备方法虽然有很多种，但现有技术中的制备方法以及所涉及到的生产装置功能性单一，即只能单一的生产电子级氨气或者电子级氨水，难以同时适用于电子级氨气与电子级氨水的制备。同时，不管是电子级氨气还是电子级氨水的制备方法，在精馏过程中仍存在能耗利用率低而导致生产成本高的问题。

发明内容

1、发明要解决的技术问题

针对现有技术中电子级氨气或者电子级氨水的生产方法无法满足同时适用于电子级氨气与电子级氨水的生产的技术问题，本发明提供了一种适用于电子级氨气与氨水的生产装置及其生产方法，它不仅可以同时适用于电子级氨气与电子级氨水的生产，且能耗利用率高，生产成本低。

2、技术方案

为解决上述问题，本发明提供的技术方案为：

一种适用于电子级氨气与氨水的生产装置，包括依次连通的蒸发器、气液分离器、吸附装置、第一精馏装置、第二精馏装置、第一洗涤装置、第二洗涤装置、吸收装置和过滤装置；其中，所述第一精馏装置和所述第二精馏装置之间设有热耦合装置，所述第二精馏装置具有塔顶出气口、第一进口和第二进口，所述热耦合装置具有液氨进口、热气进口、热气出口和液氨出口，所述液氨进口与所述第一精馏装置的底部相连通，所述热气进口与所述第二精馏装置的塔顶出气口相连通，所述热气出口与所述第一精馏装置的塔釜相连通，所述液氨出口与所述第二精馏装置的第一进口相连通，所述第一精馏装置与所述第二精馏装置的第二进口相连通，所述第二精馏装置的塔顶出气口分别与所述热气进口、第一洗涤装置和氨气储存装置相连通。