[发明专利]一种用于芯片缺陷检测系统图像获取的照明装置

权利要求书

1.一种用于芯片缺陷检测系统图像获取的照明装置，包括遮光罩（1）、镜头固定座（2）、同轴平行光源模块（3）和漫射光源模块（4），其特征在于：所述镜头固定座（2）安装在遮光罩（1）的上端，所述同轴平行光源模块（3）包括上调节圈（301）和上灯珠固定架（302），所述上调节圈（301）安装在遮光罩（1）的外侧，且与遮光罩（1）转动连接，所述上灯珠固定架（302）安装在遮光罩（1）的内部，且与遮光罩（1）转动连接，且上灯珠固定架（302）外侧端面中部设有第一转动柱（303），所述第一转动柱（303）在上调节圈（301）的内部滑动，所述上灯珠固定架（302）的内侧端面均匀安装有若干组同轴LED灯珠（304）；

所述上调节圈（301）呈圆环状设置，在上调节圈（301）的内侧端面均匀开设有四个第一斜槽（305），且第一斜槽（305）斜向上呈45度设置；

所述漫射光源模块（4）包括下调节圈（401）和下灯珠固定架（402），所述下调节圈（401）安装在遮光罩（1）的下侧，且与遮光罩（1）转动连接，所述下调节圈（401）呈圆环状设置，在下调节圈（401）的内侧端面均匀开设有四个第二斜槽（403），且第二斜槽（403）斜向上呈30度设置；

所述下灯珠固定架（402）的数量为四个，且下灯珠固定架（402）的截面为斜边是75度的梯形，在下灯珠固定架（402）的内侧斜面上均匀安装有漫射LED灯珠（404），且在漫射LED灯珠（404）外侧安装有漫射板（405）；

所述下灯珠固定架（402）的外侧端面中部开设有第二转动柱（406），且第二转动柱（406）在第二斜槽（403）中滑动，在下灯珠固定架（402）的上端中部转动连接有万向球（407），且万向球（407）的上部与遮光罩（1）转动连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于芯片缺陷检测系统图像获取的照明装置，其特征在于：所述上灯珠固定架（302）的数量为四个，且上灯珠固定架（302）的截面为斜边是45度的梯形，所述同轴LED灯珠（304）均匀安装在上灯珠固定架（302）的内侧端面上。

3.根据权利要求1-2任意一项所述的一种用于芯片缺陷检测系统图像获取的照明装置，其特征在于：该装置的使用步骤如下：

步骤一，在对芯片进行拍摄时，芯片被真空吸嘴固定在托盘内部，并被运动机构运输至遮光罩（1）的正下方，芯片位置固定后，转动上调节圈（301），使第一转动柱（303）在上调节圈（301）的内侧端面的第一斜槽（305）中滑动，第一转动柱（303）带动上灯珠固定架（302）在遮光罩（1）的内部转动，上灯珠固定架（302）带动固定在其内侧斜边的同轴LED灯珠（304）转动α角度值，并使α角度值满足不等式其中：D为遮光罩（1）底端面圆的直径，D_C为相机镜头覆盖芯片托盘的长度，L为芯片上端面与遮光罩（1）底端面间的距离），调节完成后，接通同轴LED灯珠（304）的电源；

步骤二，转动下调节圈（401），下调节圈（401）带动第二转动柱（406）在第二斜槽（403）中向上滑动，第二转动柱（406）带动下灯珠固定架（402）转动，下灯珠固定架（402）带动漫射LED灯珠（404）转动β角度值，并使β角度值满足不等式，调节完成后，接通漫射LED灯珠（404）的电源。