[发明专利]重离子微孔膜专用生产终端控制系统有效

专利信息
申请号: 202111096859.3 申请日: 2021-09-18
公开(公告)号: CN113741375B 公开(公告)日: 2023-02-03
发明(设计)人: 李运杰;莫丹;胡正国;夏佳文;徐瑚珊;段敬来;姚会军;刘杰;王玥;杨胜利;杨雅清;殷学军;蒙俊;杜衡;谢文君 申请(专利权)人: 中国科学院近代物理研究所
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 刘美丽
地址: 730013 甘*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要:
搜索关键词: 离子 微孔 专用 生产 终端 控制系统
【说明书】:

发明涉及一种重离子微孔膜生产终端控制系统,包括第一层网络控制结构,重离子微孔膜生产终端的各装置连接前端服务器,前端服务器实时获取重离子微孔膜生产终端生产状态数据,对重离子微孔膜生产终端的各装置分别进行控制;第二层网络控制结构,前端服务器将获取的生产状态数据汇聚通后发送到核心服务端控制器,核心服务端控制器对重离子微孔膜生产终端的各装置进行管理和控制;第三层网络控制结构,核心服务端控制器与总控客户端进行数据交互,总控客户端用于对整个辐照生产终端生产进行查看、管理和控制;其中,重离子微孔膜生产终端的各装置与总控客户端之间采用分布式部署。本发明可以实现重离子微孔膜的全自动高密度辐照生产。

技术领域

本发明涉及一种重离子微孔膜生产终端控制系统,涉及重离子微孔膜技术领域。

背景技术

重离子微孔膜是世界上最精密的微孔过滤膜,它是一种多孔塑料薄膜,膜上面有密密麻麻的小孔,每一个小孔形状和尺寸都相同。重离子微孔膜有很多规格,膜厚范围5微米到60微米,孔径范围0.2微米到15微米,孔密度范围每平方厘米1-10的9次方个。

重离子微孔膜通常采用高能加速器提供的重离子打孔,重离子打孔是重离子微孔膜生产工艺中最为关键的一环,所以在重离子微孔膜的生产中离子束辐照是非常重要的一个生产步骤。微孔膜辐照生产终端的控制是辐照专用生产终端的神经,它的建设是必不可少的。

发明内容

针对上述问题,本发明的目的是提供一种重离子微孔膜生产终端控制系统,能够提高重离子微孔膜的生产效率,实现重离子微孔膜的全自动化生产。

为实现上述目的,本发明采取以下技术方案:一种重离子微孔膜生产终端控制系统,该控制系统采用三层网络控制结构,包括:第一层网络控制结构,重离子微孔膜生产终端的各装置连接前端服务器,前端服务器实时获取重离子微孔膜生产终端生产状态数据,对重离子微孔膜生产终端的各装置分别进行控制;第二层网络控制结构,前端服务器将获取的生产状态数据汇聚后发送到核心服务端控制器,核心服务端控制器对重离子微孔膜生产终端的各装置进行管理和控制;第三层网络控制结构,核心服务端控制器与总控客户端进行数据交互,总控客户端用于对整个辐照生产终端生产进行查看、管理和控制;其中,重离子微孔膜生产终端的各装置与总控客户端之间采用分布式部署。

所述的重离子微孔膜生产终端控制系统,进一步地,所述前端服务器包括离子源控制系统、直线加速器控制系统、真空差分控制系统、束流反馈系统、辐照腔控制系统和卷膜控制系统;所述离子源控制系统,用于控制和调试离子源工作过程;所述直线加速器控制系统,用于控制和调试直线加速器装置的各器件;所述真空差分控制系统,用于实时监测真空差分装置中各真空室的真空度,使各个真空室的真空度达到设定要求;所述束流反馈系统,用于对辐照过程中的束流流强和束流位置进行实时监测,判断束流是否满足生产要求;所述辐照腔控制系统,用于对辐照卷绕设备的真空腔体的运动进行控制;所述卷膜控制系统,用于控制对辐照原膜的自动化卷绕,实现放膜和收膜操作。

所述的重离子微孔膜生产终端控制系统,进一步地,所述真空差分控制系统采用五级差分分布式控制,包括主泵控制模块、分子泵控制模块和机械泵控制模块;所述主泵控制模块,用于获取各真空室的真空度,根据获取的真空度数据判断是否要开启分子泵和机械泵;所述分子泵控制模块,用于逐级控制每一真空室对应的分子泵进行真空的抽取;所述机械泵控制模块,用于逐级控制每一真空室对应的机械泵进行真空的抽取。

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