[发明专利]一种重离子微孔膜辐照生产装置

权利要求书

1.一种重离子微孔膜辐照生产装置，其特征在于，包括辐照终端；

所述辐照终端用于使得处于真空环境的辐照原膜在重离子束流轰击下形成重离子微孔膜；

所述辐照终端包括至少一个真空腔体和卷膜装置；

每一所述真空腔体内均设置有对应所述卷膜装置，每一所述卷膜装置上卷设有辐照原膜。

2.如权利要求1所述的一种重离子微孔膜辐照生产装置，其特征在于，所述辐照终端还包括滑轨和牵引电机；

所述滑轨设置在所述真空差分装置的外侧；

所述滑轨上设置有所述牵引电机，所述牵引电机用于通过所述滑轨将所述真空腔体牵引至所述真空差分装置的出口。

3.如权利要求1所述的一种重离子微孔膜辐照生产装置，其特征在于，每一所述卷膜装置均包括至少一个放料电机、放料轴、传动轴、收料轴和收料电机；

每一所述真空腔体内均设置有至少一个所述放料轴，每一所述放料轴上均设置有用于对辐照原膜进行放料的对应所述放料电机；

每一所述真空腔体内均设置有至少一个所述收料轴，所述收料轴上设置有用于对辐照原膜进行收料的对应所述收料电机；

所述传动轴设置在所述放料轴与所述收料轴之间，用于对辐照原膜进行传动。

4.如权利要求3所述的一种重离子微孔膜辐照生产装置，其特征在于，所述放料轴与所述收料轴之间间隔设置有放料张力监测轴和收料张力监测轴，所述放料张力监测轴和收料张力监测轴上还设置有张力传感器，用于监测对应监测轴上膜材料的张力。

5.如权利要求1所述的一种重离子微孔膜辐照生产装置，其特征在于，每一所述真空腔体的进口均设置有用于对所述真空腔体的束流入口处进行密封的密封装置。

6.如权利要求5所述的一种重离子微孔膜辐照生产装置，其特征在于，所述密封装置包括若干个限位开关、束流出口密封圈和真空腔体密封圈；

所述滑轨上以及每一所述真空腔体的进口处均设置有用于对所述真空腔体的运动位置进行限位的所述限位开关；

束流管道的出口处间隔设置有所述束流出口密封圈，每一所述真空腔体的进口处均设置有所述真空腔体密封圈，当所述真空腔体运动到工作位置时，所述束流出口密封圈和真空腔体密封圈配合完成密封。

7.如权利要求6所述的一种重离子微孔膜辐照生产装置，其特征在于，所述真空腔体密封圈周向间隔向外延伸设置有橡胶柱，相应地，所述束流出口密封圈上设置有与所述橡胶柱相匹配的橡胶孔，所述真空腔体密封圈的橡胶柱插入到所述束流出口密封圈的橡胶孔完成密封。

8.如权利要求6所述的一种重离子微孔膜辐照生产装置，其特征在于，所述真空腔体一侧设置有开关门用于进行辐照原膜的安放和收取，优选地，所述开关门上设置有卷膜观察窗或视觉观察系统，用于对所述真空腔体内的工作进行查看。

9.如权利要求1所述的一种重离子微孔膜辐照生产装置，其特征在于，还包括真空差分装置；

所述真空差分装置包括依次连接的若干真空室和束流真空管道；

所述若干真空室通过所述束流真空管道依次连接，最后一级真空室的出口通过束流喇叭形传输管道连接所述真空腔体，其中，真空度在所述真空差分装置内采用逐级降低的方式，完成真空度的逐级过渡。

10.如权利要求9所述的一种重离子微孔膜辐照生产装置，其特征在于，所述真空差分装置采用5级差分完成10^-6Pa到10²Pa的过渡。