[发明专利]一种台阶针孔深度测量装置及其测量方法

说明书

本发明涉及台阶针孔深度检测技术领域，具体涉及一种台阶针孔深度测量装置，包括测量模组、驱动模组和电控模组；所述测量模组设置在驱动模组上，驱动模组能够驱动测量模组分别沿X向、Y向、Z向移动，所述驱动模组下方设置电控模组；所述测量模组下方设置被测板卡；本发明还提供一种台阶针孔深度测量方法。本发明利用测力传感器测量探针的弹力值，自动化、高精度的确定台阶孔的台阶面和底面的高度值，进而得出台阶孔的深度，测量效率高，有效保证被测板卡测试过程中，探针精确的压缩行程，有效防止探针压缩行程过大导致的探针寿命缩短以及压缩行程过小导致的探针与被测点之间阻抗不稳的问题，并且整个测量过程不会对被测板卡造成损伤。

技术领域

本发明涉及台阶针孔深度检测技术领域，具体涉及一种台阶针孔深度测量装置及其测量方法。

背景技术

随着电子产品技术飞速发展，及其制程效率、良率的要求日益提高，电子产业在提高电子产品制程效率的同时，也开始更多的关注主要板卡测试的稳定性。对于主要板卡的测试，一般采用传统的支撑及压合结构，及压板对被测板卡作用下压力，被测板卡放置在载板上，探针装载在多层针板模组中，探针穿过载板导针孔与被测板卡测试Pad点接触，探针针尖超出载板表面距离即为探针实际压缩行程，在压板压合作用下，探针被压缩，实现对于被测板卡测试Pad点的稳定接触，从而保证板卡测试的稳定性。

其中，测试过程中探针准确的压缩距离，成为保证板卡测试的稳定性的关键。由于探针针尖超出载板表面距离即为探针实际压缩行程，因此保证探针准确的压缩距离，实际上就是保证针板中用于限位探针高度方向移动的台阶针孔深度。当台阶针孔深度过深，探针实际压缩行程增加，超出探针推荐压缩行程，影响探针寿命。当台阶针孔深度过浅，探针实际压缩行程减少，不足探针推荐压缩行程，导致探针弹力削减，增加探针与被测板卡测试点之间的接触阻抗。

虽然，国内外对与台阶针孔的加工工艺已经比较成熟，但对台阶针孔深度的测量却一直是真空地带，测试领域长期处于无法判定台阶针孔深度是否符合深度公差标准的现状。这无疑增加探针实际压缩行程及探针实际压缩弹力的不确定性，对台阶针孔深度测量缺乏必要手段。

专利CN209857865U公开了一种台阶孔深度同心度量具，通过设置与台阶孔直径深度匹配的量具，量具上设置传感器，测量台阶孔的深度，但该量具只能检测台阶孔的深度是否合格，并不能测量出台阶孔的具体深度值，并且对于针板中的台阶孔，孔径通常在毫米级，该量具并不适用于针板台阶孔深度测量。专利CN205879085U公开了一种用于检测台阶孔深度的检具，包括深度杆和螺纹杆，通过将检具放入台阶孔中，旋转螺纹杆上的限位螺母至紧贴至台阶孔上表面，计算螺母旋转的圈数得出台阶孔的深度；同样该检具也不适用于毫米级孔径的针板台阶孔深度测量，并且该检具测量精度差。

因此，亟需设计一种台阶针孔深度测量装置及其测量方法，自动化测量针板的台阶孔深度，依此保证针板测试中探针压缩行程，保证探针与被测板卡测试点之间的稳定接触。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供一种台阶针孔深度测量装置及其测量方法，旨在测量被测板卡上台阶孔的孔深，保证被测板卡测试过程中，探针精确的压缩行程，进而确保探针与被测板卡的测试点之间能够稳定接触。

为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种台阶针孔深度测量装置，包括测量模组、驱动模组和电控模组；所述测量模组设置在所述驱动模组上，所述驱动模组能够驱动所述测量模组分别沿X向、Y向、Z向移动，所述驱动模组下方设置所述电控模组；所述测量模组下方设置被测板卡；