[发明专利]高效超精密力流变抛光方法

权利要求书

1.高效超精密力流变抛光方法，其特征在于：抛光时，工件与力流变抛光液做相对运动；所述力流变抛光液在剪切力作用下具有非线性流变特性，成分包括分散介质、固相粒子、磨粒、吸附相、热稳定相和缓释相；所述吸附相吸附磨粒形成“磨粒球”；

抛光过程中：所述缓释相均匀释放化学试剂维持抛光液中化学试剂浓度的稳定，化学试剂与工件反应在工件表面生成反应膜；在工件与抛光液相对运动产生的剪切力作用下，抛光液与工件接触界面形成贴合工件面形的流变层，流变层中的固相粒子发生团聚，并将“磨粒球”包裹后形成粒子团，粒子团与工件相对运动实现所述反应膜的去除；所述热稳定相吸收抛光过程产生的热量，维持抛光液温度和黏度的稳定。

2.如权利要求1所述的高效超精密力流变抛光方法，其特征在于：所述分散介质占抛光液质量的30％-50％，所述固相粒子占抛光液质量的30％-55％，所述磨粒占抛光液质量的1-30％，所述吸附相占抛光液质量的0.1％-10％，所述热稳定相占抛光液质量的1％-30％。

3.如权利要求1或2所述的高效超精密力流变抛光方法，其特征在于：所述缓释相采用高分子缓释膜包裹化学试剂获得，所述高分子缓释膜具有确定的化学试剂释放阈值M％，当外界溶液中化学试剂的浓度低于M％时，高分子缓释膜内的化学试剂可以通过缓释膜释放到力流变抛光液中；当力流变抛光液中化学试剂的浓度高于M％时，化学试剂不能透过高分子缓释膜。

4.如权利要求3所述的高效超精密力流变抛光方法，其特征在于：所述化学试剂为氧化剂、缓蚀剂、催化剂、络合剂中的一种或一种以上组合。

5.如权利要求1或2所述的高效超精密力流变抛光方法，其特征在于：所述热稳定相在抛光区域温度上升时，通过其分子的聚合吸抛光过程产生的热量，并提高抛光液粘度，补偿温度上升导致的抛光液黏度下降，从而稳定抛光液流变特性；当抛光区域温度降低，热稳定相聚合体解离，以维持抛光液黏度的稳定，保障抛光过程的稳定性。

6.如权利要求5所述的高效超精密力流变抛光方法，其特征在于：所述热稳定性相为亲水性和温敏性的共聚物或温敏缔合聚合物中的一种或多种组合。

7.如权利要求1或2所述的高效超精密力流变抛光方法，其特征在于：所述分散介质为水性分散介质、油性分散介质或有机分散介质，所述固相粒子为氧化物颗粒和/或有机物颗粒。

8.如权利要求7所述的高效超精密力流变抛光方法，其特征在于：所述分散介质为去离子水、乙二醇水溶液、丙三醇水溶液、煤油或聚乙二醇液，所述固相粒子为氧化硅颗粒、氧化钙颗粒、聚甲基丙烯酸甲酯颗粒、多羟基聚合物颗粒中的一种或多种组合。

9.如权利要求1或2所述的高效超精密力流变抛光方法，其特征在于：所述吸附相为活性炭、硅胶、聚丙烯酰胺、聚氨酯、蛭石颗粒一种或多种组合。

10.如权利要求1或2所述的高效超精密力流变抛光方法，其特征在于：所述的工件与抛光液的相对运动为旋转运动、直线运动或以上两种运动的复合运动。