[发明专利]一种增强太阳能背板水蒸气阻隔性的方法

权利要求书

1.一种增强太阳能背板水蒸气阻隔性的方法，其特征在于，包括以下步骤：

将支撑基材层所用材料放入到原子层沉积设备中，在支撑基材层的上面沉积无机氧化物获得无机氧化物薄膜上层，在支撑基材层的下面沉积无机氧化物获得无机氧化物薄膜下层，得到高水蒸气阻隔性太阳能背板支撑基材；然后将高水蒸气阻隔性太阳能背板支撑基材的一面与耐候氟碳薄膜层材料使用粘结剂进行复合，得到高水蒸气阻隔性的太阳能背板；

所述太阳能背板的结构从上至下依次为无机氧化物薄膜上层、支撑基材层、无机氧化物薄膜下层、粘结剂层、耐候氟碳薄膜层；

所述无机氧化物薄膜上层的材料选自氧化铝、氧化硅、氧化钛、氧化锌、氧化锆、氧化铪中的一种；

所述支撑基材层的材料选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚醚砜树脂、聚(2，5-呋喃二甲酸乙二醇酯)中的一种；

所述无机氧化物薄膜下层的材料选自氧化铝、氧化硅、氧化钛、氧化锌、氧化锆、氧化铪中的一种；

所述粘结剂层的材料为双组分聚氨酯复合材料；

所述耐候氟碳薄膜层的材料为聚氟乙烯、聚偏氟乙烯、四氟乙烯-乙烯共聚物、四氟乙烯-六氟丙稀共聚物、改性聚对苯二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸乙二酯、聚对苯二甲酸丁二酯、聚己酰二己二胺、聚己内酰胺或聚碳酸酯中的一种。

2.根据权利要求1所述的增强太阳能背板水蒸气阻隔性的方法，其特征在于，所述无机氧化物薄膜上层的厚度为10～100纳米。

3.根据权利要求1所述的增强太阳能背板水蒸气阻隔性的方法，其特征在于，所述无机氧化物薄膜下层的厚度为10～100纳米。

4.根据权利要求1所述的增强太阳能背板水蒸气阻隔性的方法，其特征在于，所述粘结剂层的厚度为8～15微米。

5.根据权利要求1所述的增强太阳能背板水蒸气阻隔性的方法，其特征在于，所述耐候氟碳薄膜层的厚度为5～60微米。

6.根据权利要求1所述的增强太阳能背板水蒸气阻隔性的方法，其特征在于，所述原子层沉积设备选自热原子层沉积设备、等离子增强原子层沉积设备、紫外增强原子层沉积设备。

7.根据权利要求1所述的增强太阳能背板水蒸气阻隔性的方法，其特征在于，所述原子层沉积设备腔室的工作温度为80～150℃。

8.根据权利要求1所述的增强太阳能背板水蒸气阻隔性的方法，其特征在于，所述原子层沉积设备在沉积材料时，需要使用铝前驱体源、氧前驱体源、钛前驱体源、锌前驱体源。

9.根据权利要求8所述的增强太阳能背板水蒸气阻隔性的方法，其特征在于，所述铝前驱体源选自三甲基铝、三氯化铝、三乙基铝、氯化二甲基铝、乙醇铝、异丙醇铝；所述氧前驱体源选自去离子水、臭氧、氧气；所述钛前驱体源为四氯化钛；所述锌前驱体源为二乙基锌。

10.根据权利要求1所述的增强太阳能背板水蒸气阻隔性的方法，其特征在于，所述原子层沉积设备中用于携带前驱体分子进入到腔室内的载气物质选自氮气、氩气；

所述载气物质的流量设定为200标准公升每分钟流量值。