[发明专利]树脂供给装置、树脂密封装置和树脂密封品的制造方法在审
申请号: | 202111105483.8 | 申请日: | 2021-09-22 |
公开(公告)号: | CN114506006A | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 川口诚;藤沢雅彦;村松吉和;花里実 | 申请(专利权)人: | 山田尖端科技株式会社 |
主分类号: | B29C45/14 | 分类号: | B29C45/14;B29C45/26;B29C45/27;B29C45/34;H01L21/67 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 郑乐;臧建明 |
地址: | 日本长野县*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 树脂 供给 装置 密封 制造 方法 | ||
本发明提供一种可抑制缺陷的产生的树脂供给装置、树脂密封装置和树脂密封品的制造方法。树脂供给装置(100)包括:算出部(130),基于树脂密封模具(200)的模腔(201)的形状算出树脂供给图案;以及供给部(120),沿着树脂供给图案向被涂布物供给树脂,树脂供给图案具有多个线状路径(14),相互邻接的线状路径中的其中一个线状路径相对于将模腔(201)线对称地分割的对称轴(SM)倾斜,相互邻接的线状路径中的另一个线状路径相对于其中一个线状路径倾斜,相互邻接的线状路径之间的区域(19)在另一个线状路径远离至少一个线状路径的一侧,向被涂布物的外侧开放。
技术领域
本发明涉及一种树脂供给装置、树脂密封装置和树脂密封品的制造方法。
背景技术
已知通过压缩成形对工件进行树脂密封。利用此种压缩成形的树脂密封装置一般包括向工件上或隔离膜上供给树脂的树脂供给装置、以及将树脂在工件上展开并进行加热加压的树脂密封模具。
此处,专利文献1中公开了关于由树脂供给装置供给的树脂供给图案,在为真空状态的腔室内形成螺旋状或格子状的树脂供给图案。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利特开2018-134846号公报
发明内容
发明所要解决的问题
然而,即使如专利文献1中记载的树脂供给装置那样在真空腔室内供给树脂,在进行成形的模具内存在空气或由树脂产生的气体的情况下,其也会被卷入树脂中,有时会产生填充不良引起的气穴(air trap)或空隙之类的缺陷。
本发明是鉴于此种情况而成,本发明的目的在于提供一种可抑制缺陷的产生的树脂供给装置、树脂密封装置和树脂密封品的制造方法。
解决问题的技术手段
本发明的一实施例的树脂供给装置是向配置在树脂密封模具的下模的被涂布物上供给树脂的树脂供给装置,包括:算出部,基于树脂密封模具的模腔的形状算出树脂供给图案;以及供给部,沿着树脂供给图案向被涂布物供给树脂,树脂供给图案具有多个线状路径,多个线状路径中的相互邻接的线状路径中的其中一个线状路径相对于将模腔线对称地分割的对称轴倾斜,多个线状路径中的相互邻接的线状路径中的另一个线状路径相对于其中一个线状路径倾斜,多个线状路径中的相互邻接的线状路径之间的区域在另一个线状路径远离至少其中一个线状路径的一侧,向被涂布物的外侧开放。
根据所述实施例,邻接的线状路径之间的区域作为用于排气的流路发挥作用。另外,当树脂在被涂布物上展开时,相互邻接的线状路径之间的区域从另一个线状路径接近其中一个线状路径的一侧向另一个线状路径远离其中一个线状路径的一侧缓缓地填充树脂。因此,当树脂在被涂布物上展开的途中,不会产生全方位被树脂包围的区域,邻接的线状路径之间的区域作为用于排气的流路发挥作用。因此,可抑制在邻接的线状路径之间的区域残存的空气或由树脂产生的气体卷入树脂中,可抑制填充不良引起的缺陷的产生。
所述实施例中,多个线状路径可具有第一线状路径、与第一线状路径邻接的第二线状路径、以及与第二线状路径邻接的第三线状路径,第二线状路径在接近第一线状路径的一侧的端部与第一线状路径连接,在接近第三线状路径的一侧的端部与第三线状路径连接。
所述实施例中,树脂供给图案可为连续的一条线状。
所述实施例中,树脂供给图案的角部可具有R形状。
所述实施例中,多个线状路径中的相互邻接的线状路径之间的区域可在另一个线状路径接近其中一个线状路径的一侧,向被涂布物的外侧开放。
所述实施例中,被涂布物可为使用被供给的树脂而受到密封的工件。
所述实施例中,被涂布物可为将被供给的树脂移交给工件的隔离膜。
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