[发明专利]一种晶棒提拉防脱落抱夹装置有效
申请号: | 202111105794.4 | 申请日: | 2021-09-22 |
公开(公告)号: | CN113832538B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 胡文祥;李万朋;卢维平;李阳;张忠涛;段世飞;尹嘉琦;高畅;孔奕人 | 申请(专利权)人: | 连城凯克斯科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B29/06 |
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地址: | 214000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶棒提拉防 脱落 装置 | ||
1.一种晶棒提拉防脱落抱夹装置,其特征在于:包括主室(1)和副室(2),所述主室(1)的内部安装有坩埚(3),坩埚(3)的内部放置有熔液(4),副室(2)的内部活动安装有提拉头(5),提拉头(5)的底端安装有子晶(6),子晶(6)和熔液(4)之间形成晶棒主体(7),晶棒主体(7)包括抱夹头(8),副室(2)的内部活动安装有与抱夹头(8)对应的保护爪(9);
所述副室(2)的内部滑动安装有移动环(10),保护爪(9)通过回转轴(11)转动安装在移动环(10)上,回转轴(11)偏离保护爪(9)的重心处,移动环(10)上安装有与保护爪(9)对应的限位螺钉(12),副室(2)的内部固定安装有限位盘(13),限位盘(13)位于移动环(10)的下方;
所述保护爪(9)的顶端安装有保护绳(14),提拉头(5)的顶端安装有提拉绳(15),副室(2)内固定安装有安装台(16),安装台(16)内转动安装有分别与保护绳(14)和提拉绳(15)相对应的滚轮一(17)和滚轮二(18),安装台(16)上固定安装有控制滚轮一(17)和滚轮二(18)的电机(19);
所述电机(19)上设置有输出轴(20),输出轴(20)的外侧滑动套接有滑动轴(21),安装台(16)上转动安装有转筒一(22)和转筒二(23),转筒一(22)与滚轮一(17)通过链带(24)传动连接,转筒二(23)与滚轮二(18)固定连接,转筒一(22)和转筒二(23)均位于滑动轴(21)的外侧,滑动轴(21)的外侧固定套接有连接环(25),连接环(25)包括间隔排列的环一(251)、环二(252)和环三(253),转筒一(22)和转筒二(23)的内部均开设有与连接环(25)相对应的配合槽;
所述转筒一(22)和转筒二(23)均设置有限位凸块;输出轴(20)、滑动轴(21)、转筒一(22)和转筒二(23)位于同一轴心线上。
2.根据权利要求1所述的一种晶棒提拉防脱落抱夹装置,其特征在于:所述安装台(16)上转动安装有转座(26),转座(26)上安装有复位扭簧,滑动轴(21)的外侧固定安装有卡环(27),转座(26)上设置有插入卡环(27)内的插杆(28)。
3.根据权利要求1所述的一种晶棒提拉防脱落抱夹装置,其特征在于:所述安装台(16)上转动安装有从动轮(29),从动轮(29)的位置与转筒一(22)相匹配,从动轮(29)上安装有环形分布的多个圆杆(30),转筒一(22)的外侧固定连接有与圆杆(30)相对应的拨板(31),转座(26)上设置有楔板(32),从动轮(29)上固定安装有与楔板(32)对应的压杆(33)。
4.根据权利要求3所述的一种晶棒提拉防脱落抱夹装置,其特征在于:所述安装台(16)上固定安装有支座(34),支座(34)内滑动插接有与从动轮(29)对应的紧固块(35),紧固块(35)上安装有支撑压簧,支座(34)的外侧转动安装有转动板(36),转动板(36)与紧固块(35)活动连接,拨板(31)上设置有与紧固块(35)对应的支撑段。
5.根据权利要求4所述的一种晶棒提拉防脱落抱夹装置,其特征在于:所述从动轮(29)的环侧设置有齿牙,紧固块(35)上设置有与齿牙对应的齿条段。
6.根据权利要求1所述的一种晶棒提拉防脱落抱夹装置,其特征在于:所述电机(19)上安装有减速箱(37)。
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