[发明专利]一种柔性氧化锌纳米颗粒紫外光探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性氧化锌纳米颗粒紫外光探测器，其特征在于，包括从上到下依次设置的共面电极层、感光层、柔性衬底；

所述共面电极层采用银纳米线分散液作为原料，利用金属掩膜版辅助，利用喷涂法制备出共面电极图案；

所述感光层采用ZnO纳米颗粒悬浮液掺杂单层MoS₂乙醇分散液作为原料，利用金属掩膜版辅助，喷涂法制备成膜；

所述柔性衬底采用PDMS薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种柔性氧化锌纳米颗粒紫外光探测器，其特征在于，所述共面电极层厚度满足195-205nm。

3.根据权利要求2所述的一种柔性氧化锌纳米颗粒紫外光探测器，其特征在于，所述感光层中ZnO纳米颗粒悬浮液和MoS₂乙醇分散液是按照体积比1:4配制。

4.根据权利要求3所述的一种柔性氧化锌纳米颗粒紫外光探测器，其特征在于，所述感光层厚度为300nm。

5.根据权利要求4所述的一种柔性氧化锌纳米颗粒紫外光探测器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(S1)对固化后的PDMS衬底进行Plasma处理10min，增强柔性衬底亲水性；

(S2)在PDMS衬底上喷涂ZnO:MoS₂溶液，形成透明光敏的感光层；

(S3)利用金属掩膜版，在ZnO:MoS₂薄膜上喷涂银纳米线溶液形成透明的共面电极层；

(S4)测试所制备器件的电流-时间特性曲线以及机械性能。

6.根据权利要求5所述的一种柔性氧化锌纳米颗粒紫外光探测器的制备方法，其特征在于，所述步骤(S1)中PDMS采用PDMS：固化剂＝20:1配制。

7.根据权利要求6所述的一种柔性氧化锌纳米颗粒紫外光探测器的制备方法，其特征在于，所述步骤(S2)中喷涂气压为30psi，其中，ZnO NP溶液与MoS2溶液的比例为1:4。

8.根据权利要求7所述的一种柔性氧化锌纳米颗粒紫外光探测器的制备方法，其特征在于，所述步骤(S3)中银纳米线溶液的浓度为5mg/ml。