[发明专利]一体化柔性微纳电感及其制备方法在审
| 申请号： | 202111113391.4 | 申请日： | 2021-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN113871125A | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 王军强;张文武;张岩;曹小文;向明亮;许巍;霍军涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | H01F1/153 | 分类号： | H01F1/153;H01F41/02;H01F17/04 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 刘诚午 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一体化 柔性 电感 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种一体化柔性微纳电感的制备方法，其特征在于，包括：
制备非晶纳米晶合金；
基于高精度高功率激光刻蚀加工方法，按照应用场景、形状及尺寸的需求，对所述非晶纳米晶合金进行与磁芯结构直接结合的一体化激光精细刻蚀加工，制备得到微纳尺度的一体化柔性电感器件。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述非晶纳米晶合金包括块体、带状、丝状、粉末。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，具体包括步骤：
1)制备非晶纳米晶合金与磁芯结构，输出–待加工毛胚；
2)根据电感器件的几何信息，产生激光加工的CAM代码；
3)控制激光，对毛坯工件进行精细加工成型；
4)进行封装；
5)机型检验。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述高精度高功率激光刻蚀加工方法：
单脉冲能量最大80μJ，
波长515fs激光，532ps激光，
脉冲400fs，
脉冲激光峰值功率3.82×1013W/cm2，
激光线宽2μm以上。
5.根据权利要求1或4所述的制备方法，其特征在于，所述微纳尺度的一体化柔性电感器件为条带状，条带的微观组织结构是非晶即纳米晶结构，条带的厚度是15–40μm，条带宽度是1–170mm。
6.根据权利要求1–5任一权利要求所述的制备方法制备得到的微纳尺度的一体化柔性电感器件。
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