[发明专利]一种体声波谐振器和体声波滤波器

权利要求书

1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：衬底，在所述衬底上依次层叠设置的声反射结构、底电极、压电层和顶电极，所述顶电极、所述压电层、所述底电极和所述声反射结构在所述衬底的正投影具有交叠区域，所述交叠区域为非对称区域，所述交叠区域的轮廓由第一曲线和第二曲线首尾相接形成，所述第一曲线和所述第二曲线的形状不同。

2.如权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一曲线和所述第二曲线的两个连接点可界定出第一直线，所述第一曲线在所述第一直线的正投影位于所述两个连接点之间，所述第二曲线在所述第一直线的正投影位于所述两个连接点之间。

3.如权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一曲线的波峰至所述第一直线的距离与所述两个连接点之间的距离比值大于0.5且小于1.5。

4.如权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第二曲线的波峰至所述第一直线的距离与所述两个连接点之间的距离比值小于0.5。

5.如权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一曲线和所述第二曲线分别位于所述第一直线的两侧。

6.如权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第一曲线和所述第二曲线均位于所述第一直线的同侧。

7.如权利要求2所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第二曲线包括多个顺次连接的子曲线，每个子曲线在所述第一直线的正投影均与剩余的子曲线在所述第一直线的正投影的长度不同。

8.如权利要求1至7任一项所述的体声波谐振器，其特征在于，所述声反射结构为空气腔或高低声阻抗叠层；所述第一曲线和所述第二曲线均为非规则三角函数线性。

9.一种体声波滤波器，其特征在于，包括多个如权利要求1至8任一项所述的体声波谐振器，相邻两个所述体声波谐振器串联或并联。

10.如权利要求9所述的体声波滤波器，其特征在于，相邻两个所述体声波谐振器的交叠区域相对的一侧凹凸互补。