[发明专利]一种基于高Q值微环的超窄带宽可调谐光学滤波器

权利要求书

1.一种基于高Q值微环的超窄带宽可调谐光学滤波器，基于硅基高品质因子微环辅助马赫增德尔干涉仪结构实现，其特征在于：包括：第一3dB分束器(1)、第二3dB分束器(2)、第一连接波导(3)、第二连接波导(4)、第三连接波导(5)、第四连接波导(6)、第一优化结构的跑道微环(7)、第二优化结构的跑道微环(10)、第一热电极(13)、第二热电极(16)、第三热电极(14)、第四热电极(15)、第五热电极(17)和第六热电极(18)；

所述第一3dB分束器(1)输出端上臂通过第一连接波导(3)与所述第一优化结构的跑道微环(7)的输入端口相连；所述第二3dB分束器(2)的输入端上臂通过第二连接波导(4)与所述第一优化结构的跑道微环(7)的输出端口相连；所述第一3dB分束器(1)输出端下臂通过第三连接波导(5)与所述第二优化结构的跑道微环(10)的输入端口相连；所述第二3dB分束器(2)的输入端下臂通过第四连接波导(6)与所述第二优化结构的跑道微环(10)的输出端口相连；所述第一热电极(13)和所述第二热电极(16)分别位于第一优化结构的跑道微环(7)和第二优化结构的跑道微环(10)，第三热电极(14)、第四热电极(15)、第五热电极(17)和第六热电极(18)分别位于第一连接波导(3)、第二连接波导(4)、第三连接波导(5)和第四连接波导(6)上；所述第一热电极(13)、所述第二热电极(16)、所述第三热电极(14)、所述第四热电极(15)、所述第五热电极(17)、所述第六热电极(18)均用于对所述第一优化结构的跑道微环(7)和第二优化结构的跑道微环(10)的波导进行加热；所述第一连接波导(3)、第二连接波导(4)、第三连接波导(5)和第四连接波导(6)位于第三热电极(14)、第四热电极(15)、第五热电极(17)和第六热电极(18)内的部分分别为第一微环(8)、第二微环(9)、第三微环(11)和第四微环(12)；

工作中，所述第一3dB分束器(1)、所述第二3dB分束器(2)、所述第一连接波导(3)、所述第二连接波导(4)、所述第三连接波导(5)、所述第四连接波导(6)一起构成了马赫曾德尔干涉仪结构；通过改变所述第三热电极(14)和所述第四热电极(15)的功率或者所述第五热电极(17)和所述第六热电极(18)的功率，相对应的所述第一优化结构的跑道微环(7)和所述第二优化结构的跑道微环(10)的圆弧波导的折射率会随之发生变化，从而可以操控单个优化结构的跑道微环的传输谱线使其带宽可调谐；进而通过改变所述第一热电极(13)和所述第二热电极(16)的功率，实现对整个滤波器的谱线进行操控，最终得到波长和带宽可调谐的滤波器。

2.如权利要求1所述的一种基于高Q值微环的超窄带宽可调谐光学滤波器，其特征在于：所述第三热电极(14)、第四热电极(15)、第五热电极(17)和第六热电极(18)分别位于所述第一微环(8)、第二微环(9)、第三微环(11)和第四微环(12)上。

3.如权利要求1所述的一种基于高Q值微环的超窄带宽可调谐光学滤波器，其特征在于：所述第一优化结构的跑道微环(7)和所述第二优化结构的跑道微环(10)的波导宽度相等。

4.如权利要求3所述的一种基于高Q值微环的超窄带宽可调谐光学滤波器，其特征在于：所述波导宽度为500nm。

5.如权利要求1所述的一种基于高Q值微环的超窄带宽可调谐光学滤波器，其特征在于：所述第一连接波导(3)、所述第二连接波导(4)、所述第三连接波导(5)、所述第四连接波导(6)均为两端直中间弯曲的形状，以适应所述第一优化结构的跑道微环(7)、所述第二优化结构的跑道微环(10)与所述第一3dB分束器(1)和所述第二3dB分束器(2)的连接关系。