[发明专利]双波长激光输出装置及方法、半导体激光器在审
申请号: | 202111118088.3 | 申请日: | 2021-09-23 |
公开(公告)号: | CN113851921A | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 郑婉华;鲁玉环;张伟桥;周旭彦;渠红伟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/00 | 分类号: | H01S5/00;H01S5/06;H01S5/10 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王文思 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 波长 激光 输出 装置 方法 半导体激光器 | ||
1.一种双波长激光输出装置,其特征在于,包括:
光源模块,用于输出不同偏振态的偏振光;
反射光栅,用于沿第一方向接收所述偏振光,并对所述偏振光中第一指定波长的光束进行一级衍射得到第一指定波长的衍射光,以及,对所述偏振光进行零级衍射得到零级衍射光;
全反射镜,用于从第二方向接收所述第一指定波长的衍射光,并沿所述第二方向的反方向将所述第一指定波长的衍射光反射到所述反射光栅上;
体布拉格光栅,用于沿第三方向接收所述零级衍射光,并对所述零级衍射光中的第二指定波长的光束进行衍射,得到第二指定波长的衍射光;
所述反射光栅,还用于沿所述第二方向的反方向接收所述第一指定波长的衍射光和沿所述第三方向的反方向接收所述第二指定波长的衍射光,并沿所述第一方向的反方向对所述第一指定波长的衍射光进行一级衍射至所述光源模块,以及,沿所述第一方向的反方向对所述第二指定波长的衍射光进行零级衍射至所述光源模块。
2.根据权利要求1所述的双波长激光输出装置,其特征在于,所述光源模块包括:
半导体激光增益芯片,用于发射激光;
准直模块,用于接收所述激光,并准直所述激光的发散角;
偏振态调整模块,用于接收准直后的激光,并将所述准直后的激光的偏振态调整为目标偏振态,得到所述偏振光。
3.根据权利要求2所述的双波长激光输出装置,其特征在于,所述准直模块包括:
快轴准直镜,用于接收所述激光,并准直所述激光的快轴方向的发散角,得到第一激光;
慢轴准直镜,用于接收所述第一激光,并准直所述光束的慢轴方向的发散角,得到第二激光,所述第二激光包括所述准直后的激光。
4.根据权利要求2所述的双波长激光输出装置,其特征在于,所述半导体激光增益芯片的发射端面上镀有抗反射膜;
所述半导体激光增益芯片的发射端的对端面上镀有高反膜。
5.根据权利要求1所述的双波长激光输出装置,其特征在于,所述反射光栅为闪耀光栅;
所述闪耀光栅的闪耀角度随入射光入射到所述反射光栅上时光束的入射角度不同而不同,所述入射角度与所述闪耀角度之间的差值小于3度。
6.根据权利要求1所述的双波长激光输出装置,其特征在于,所述全反射镜在预设角度范围内可转动。
7.根据权利要求2所述的双波长激光输出装置,其特征在于,所述偏振态调整模块包括零级半波片。
8.一种半导体激光器,其特征在于,所述半导体激光器包括如权利要求1至7任一项所述的双波长激光输出装置。
9.一种控制方法,应用于权利要求1至7任意一项所述的双波长激光输出装置,其特征在于,包括:
控制光源模块输出偏振光;
控制全反射镜旋转,以改变第一指定波长的衍射光反射回反射光栅的角度。
10.根据权利要求9所述的控制方法,其特征在于,当所述光源模块包括零级半波片时,所述方法还包括:
控制零级半波片旋转,以改变偏振光的偏振态。
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