[发明专利]加工圆柱工件的液动压抛光设备

说明书

本发明涉及抛光设备领域，公开了一种加工圆柱工件的液动压抛光设备，包括抛光溶液箱、用于驱动第一旋转装置移动的伸缩装置、用于驱动抛光头旋转的第一旋转装置、抛光头、用于驱动工件旋转的第二旋转装置、工件固定座，抛光头与第一旋转装置的旋转端连接，抛光头位于第二旋转装置的上方，抛光头为底壁开口的中空结构，其内侧壁上形成有多个液动压形成结构，液动压形成结构包括楔形区域和蓄流槽，蓄流槽与抛光头内壁平行，楔形区域与蓄流槽之间形成夹角；抛光头的侧壁上形成有多个液流通口。通过上述技术方案的设置，能够加快抛光头与工件之间的相对运动，以形成稳定的液膜，液流通口能够保证抛光液的流通，避免碎屑在抛光头内堆积，提高抛光效果。

技术领域

本发明涉及抛光设备领域，具体地涉及一种加工圆柱工件的液动压抛光设备。

背景技术

随着光学和微电子学及其相关技术的发展，对所需材料表面质量的要求越来越高，超光滑表面加工技术随之受到发展和重视超光滑表面的主要特征包括：极小的表面粗糙度；尽可能小的表层和亚表层损伤，晶体表面具有完整的晶体结构；极小的表面残余应力。

抛光加工因其材料去除量微小、加工精度高等特点，被作为超光滑表面加工的主要最终加工手段。现有应用于超光滑表面加工的抛光方法主要有直接接触式抛光、准接触式抛光和非接触式抛光。作为非接触式抛光的一种,流体抛光技术在加工过程中，抛光工具与工件不发生接触，而是利用流体驱动磨粒冲击工件表面实现材料去除，有效避免了材料的表面及亚表层损伤，既可用于功能晶体材料的抛光(注重结晶完整性和物理性能)，也可用于光学零件的抛光(注重表面粗糙度和形状精度)。

目前国内外针对不同的加工对象研发了液动压悬浮抛光。但是液动压悬浮抛光技术仅仅用于平面的抛光，没有应用于具有弧形表面的工件上，一个原因是弧形表面工件上难以形成稳定的液膜，另一个原因是弧形表面表面积大于平面，难以提供足够的流通的抛光液。

发明内容

本发明的目的是提供一种加工圆柱工件的液动压抛光设备，该发明能够解决现有技术中存在的液动压悬浮抛光无法在弧形表面工件上应用的问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种加工圆柱工件的液动压抛光设备，包括抛光溶液箱、用于驱动第一旋转装置移动的伸缩装置、用于驱动抛光头旋转的第一旋转装置、抛光头、用于驱动工件旋转的第二旋转装置、工件固定座，所述抛光溶液箱为顶端开口的中空结构，所述第二旋转装置设置在所述抛光溶液箱的底壁上，所述工件固定座与所述第二旋转装置的旋转端连接，所述伸缩装置设置在所述抛光溶液箱内，所述第一旋转装置与所述伸缩装置的活动端固定连接，所述工件固定座与所述第二旋转装置连接，所述抛光头与所述第一旋转装置的旋转端连接，所述抛光头位于所述第二旋转装置的上方，所述抛光头为底壁开口的中空结构，其内侧壁上形成有多个液动压形成结构，所述液动压形成结构包括楔形区域和蓄流槽，所述蓄流槽与所述抛光头内壁平行，所述楔形区域与所述蓄流槽之间形成夹角；所述抛光头的侧壁上形成有多个液流通口。

通过上述技术方案的设置，通过第一旋转装置和第二旋转装置不同方向的旋转，能够加快抛光头与工件之间的相对运动，以形成稳定的液膜，液流通口能够保证抛光液的流通，避免碎屑在抛光头内堆积，提高抛光效果。

进一步地，所述楔形区域具有两个斜面区域，两个斜面区域之间形成夹角。

进一步地，所述液流通口沿所述抛光头分布有多层，各层液流通口之间交错设置，任意一层中的液流通口圆周等距设置。

进一步地，所述加工圆柱工件的液动压抛光设备还包括吸流管和压力泵，所述吸流管与所述工件的轴向垂直，其开口朝向工件，所述压力泵与所述吸流管远离所述工件的一端连接。

进一步地，所述加工圆柱工件的液动压抛光设备还包括补流管，所述补流管位于所述抛光溶液箱内。