[发明专利]废气过滤装置在审
申请号: | 202111123474.1 | 申请日: | 2021-09-24 |
公开(公告)号: | CN115845539A | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 顾崇诚 | 申请(专利权)人: | 信强(宁波)半导体设备制造有限公司 |
主分类号: | B01D50/60 | 分类号: | B01D50/60 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 骆希聪 |
地址: | 315480 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 废气 过滤 装置 | ||
1.一种废气过滤装置,其特征在于,该废气过滤装置包括:
一入口流道;
一过滤室,包括一横向气体流道,并连通该入口流道;
一出口流道,连通该横向气体流道;以及
多块废气过滤板,设于该横向气体流道,各个废气过滤板包括:
一气体流入面;以及
一气体流出面;
其中在任两个相邻的废气过滤板中,其中一废气过滤板的该气体流入面朝向另一废气过滤板的该气体流出面。
2.如权利要求1所述的废气过滤装置,其特征在于,该废气过滤装置更包括:
多块可挠性吸附板,其是以具有可挠性和吸附性的材质所制成;以及
多块波浪板,藉由一黏着剂连接该多块可挠性吸附板,该多块可挠性吸附板和该多块波浪板交错排列并互相连接,各个波浪板包括多块弯折片,该多块弯折片两两连接并形成波浪型,该多块弯折片和该多块可挠性吸附板之间形成多个三角形结构。
3.如权利要求1所述的废气过滤装置,其特征在于,该废气过滤装置更包括:
多块可挠性吸附板,其是以具有可挠性和吸附性的材质所制成;以及
多块波浪板,连接该多块可挠性吸附板,且该多块波浪板两两相连,该多块可挠性吸附板设置于相连的任两个波浪板之间,各个波浪板包括多块弯折片,该多块弯折片两两连接并形成波浪型,该多块弯折片和该多块可挠性吸附板之间形成多个三角形结构。
4.如权利要求1所述的废气过滤装置,其特征在于,该废气过滤装置更包括:
多块可挠性吸附板,其是以具有可挠性和吸附性的材质所制成;以及
多块波浪板,连接该多块可挠性吸附板,且该多块可挠性吸附板两两相连,该多块波浪板设置于相连的任两个可挠性吸附板之间,各个波浪板包括多块弯折片,该多块弯折片两两连接并形成波浪型,该多块弯折片和该多块可挠性吸附板之间形成多个三角形结构。
5.如权利要求1至4中任一项所述的废气过滤装置,其特征在于,其中该过滤室更包括一顶部壳体和多个底部壳体,该横向气体流道位于该顶部壳体和该多个底部壳体之间。
6.如权利要求5所述的废气过滤装置,其特征在于,其中该多块废气过滤板连接该顶部壳体和该多个底部壳体。
7.如权利要求6所述的废气过滤装置,其特征在于,其中该废气过滤装置更包括至少一处理液槽,该至少一处理液槽位于该横向气体流道下方。
8.如权利要求7所述的废气过滤装置,其特征在于,其中该废气过滤装置更包括至少一除雾板,该至少一除雾板连接该顶部壳体和其中一底部壳体并设于该横向气体流道。
9.如权利要求8所述的废气过滤装置,其特征在于,其中该至少一除雾板朝向该其中一废气过滤板的该气体流出面。
10.如权利要求9所述的废气过滤装置,其特征在于,其中该废气过滤装置更包括多个喷头,该多个喷头设于该横向气体流道。
11.如权利要求10所述的废气过滤装置,其特征在于,其中该多个喷头用以喷洒液体至该多块废气过滤板。
12.如权利要求11所述的废气过滤装置,其特征在于,其中该废气过滤装置更包括一风机,该风机设于该出口流道。
13.如权利要求12所述的废气过滤装置,其特征在于,其中该至少一处理液槽的数量为多个,且其中一底部壳体分隔任二个相邻的处理液槽。
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