[发明专利]一种用于蒸镀机材料回收装置及其使用方法

说明书

本发明公开了一种用于蒸镀机材料回收装置及其使用方法，包括蒸镀框和回收机构，所述回收机构位于蒸镀框设有的回收腔内，所述回收机构包括支撑柱、回收盒和回收板，所述回收板位于回收盒内部，所述支撑柱包括底柱、连接环和连接柱，所述连接环的顶端与连接柱的底端连接，所述连接环的底端嵌入底柱顶端内部，所述底柱的内部设有升降气缸、圆板，所述升降气缸顶端与圆板连接，所述连接环与圆板连接；蒸镀材料蒸汽遇冷凝结，材料粘附在回收板上，回收板回收这部分溢出的材料，支撑柱内的驱动马达、升降气缸运行，连接柱旋转，另外连接柱竖直下降，回收板处于等待位置，不影响产品的蒸镀过程，便于回收材料，避免材料浪费，材料利用率高。

技术领域

本发明属于蒸镀机材料回收技术领域，具体涉及一种用于蒸镀机材料回收装置及其使用方法。

背景技术

Organic Light Emitting Display，即有机发光显示器，OLED是由多层有机薄膜结构组成的器件。蒸镀就是其中一道工序，即蒸镀源内装填不同的材料，通过加热控制镀率使得材料升华逸出蒸镀源镀到基板上，蒸镀不同的多层有机薄膜组成结构产生电致发光。在蒸镀过程中，蒸镀源内材料需升温至一定温度达到需要的镀率才能进行制程工艺，在此过程，蒸发的材料就会浪费，材料利用率低。

现有的蒸镀过程中，蒸发的材料浪费，材料利用率低的问题，为此我们提出一种用于蒸镀机材料回收装置及其使用方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于蒸镀机材料回收装置及其使用方法，以解决上述背景技术中提出的蒸镀过程中，蒸发的材料浪费，材料利用率低的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于蒸镀机材料回收装置，包括蒸镀框和回收机构，所述回收机构位于蒸镀框设有的回收腔内，所述回收机构包括支撑柱、回收盒和回收板，所述回收板位于回收盒内部，所述支撑柱包括底柱、连接环和连接柱，所述连接环的顶端与连接柱的底端连接，所述连接环的底端嵌入底柱顶端内部，所述底柱的内部设有升降气缸、圆板，所述升降气缸顶端与圆板连接，所述连接环与圆板连接，所述圆板的表面设有驱动马达，所述连接柱顶端的内部设有冷凝器，所述连接柱顶部与回收盒连接。

优选的，所述连接环、连接柱的外径相同，所述连接环、连接柱与底柱滑动连接。

优选的，所述圆板边缘的内部设有转动环，所述转动环与圆板转动连接，所述连接环与转动环通过螺纹旋合连接，所述驱动马达位于圆板的圆心位置，所述驱动马达的转轴顶端与连接柱连接。

优选的，所述回收盒的底部开设有放置槽，所述回收盒的侧面开设有活动槽，所述放置槽与活动槽连通。

优选的，所述回收盒的内部设有两个滑动机构，所述滑动机构包括电推杆、顶球，所述电推杆的端部与顶球连接。

优选的，所述回收盒相对的内表面设有限位机构，所述限位机构包括连接板、扭簧和限位板，所述扭簧的一端与连接板的端部连接，所述扭簧的另一端与“L”型结构的限位板连接，所述电推杆与连接板位于回收盒内的同一表面上。

优选的，所述限位板处于倾斜状态，所述限位板的外边角上设有万向球，所述万向球包括球座与球体。

优选的，所述蒸镀框的侧面设有回收框，所述蒸镀框的内部设有底座和夹取机械手，所述夹取机械手由多个连杆、夹持头组成。